[發明專利]一種晶棒返切設備

在審

• 申請號: 202310388265.2
• 申請日: 2023-04-12
• 公開（公告）號: CN116141515A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 陳立民;譚鑫;潘浩;劉健;張帥
• 申請（專利權）人: 曲靖陽光新能源股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 北京冠和權律師事務所 11399
• 代理人: 陳姣姣

1.一種晶棒返切設備，其特征在于，包括：機體(1)、切割組件(2)和送料組件(3)，所述切割組件(2)設置為金剛線切割器，所述送料組件(3)包括送料傳送帶(4)和送料導軌(5)，所述送料導軌(5)用于從送料傳送帶(4)處夾持晶棒并運送至切割組件(2)處進行切割。

2.根據權利要求1所述的一種晶棒返切設備，其特征在于，所述送料傳送帶(4)包括帶體(41)、推塊(42)和承托滑桿(43)，所述帶體(41)水平設置且帶體(41)上等間距設置有多個推塊(42)，兩個所述承托滑桿(43)對稱設置在所述帶體(41)兩側，所述承托滑桿(43)水平設置，且承托滑桿(43)上沿高于所述帶體(41)上沿。

3.根據權利要求2所述的一種晶棒返切設備，其特征在于，所述送料導軌(5)包括：

第一導向板(51)，所述機體(1)內底壁和頂壁上對稱設置有兩個第一導向板(51)，所述第一導向板(51)在第一驅動電缸(52)帶動下水平滑動；

第二滑桿(53)，所述第一導向板(51)上對稱設置有兩個第二滑桿(53)，所述第二滑桿(53)水平設置且長度方向垂直于所述第一導向板(51)滑動方向，所述第二滑桿(53)上沿長度方向開設有第二滑槽(54)；

第三滑桿(55)，所述第二滑桿(53)上設置有第三滑桿(55)，所述第三滑桿(55)豎直設置，且第三滑桿(55)端部滑動設置在第二滑槽(54)內，第三滑桿(55)在第二驅動電缸(56)帶動下沿第二滑槽(54)滑動，所述第三滑桿(55)上沿長度方向設置有第三滑槽(57)；

固定桿(58)，兩個所述第三滑桿(55)之間設置有固定桿(58)，所述固定桿(58)水平設置，且固定桿(58)兩端滑動設置在所述第三滑槽(57)內，固定桿(58)在第三驅動電缸(59)帶動下沿第三滑槽(57)滑動，所述固定桿(58)側部等間距設置有多個夾爪(6)。

4.根據權利要求3所述的一種晶棒返切設備，其特征在于，所述機體(1)側壁上設置有透明材質的觀察窗。

5.根據權利要求2所述的一種晶棒返切設備，其特征在于，所述機體(1)側壁上還設置有除塵組件(7)，所述除塵組件(7)包括排風管(71)和排風扇(72)，所述機體(1)側壁上連通有排風管(71)，所述排風管(71)內設置排風扇(72)和排風電機(73)，所述排風電機(73)用于帶動所述排風扇(72)轉動。

6.根據權利要求5所述的一種晶棒返切設備，其特征在于，所述除塵組件(7)還包括布袋除塵組件(74)，所述布袋除塵組件(74)包括除塵箱(75)，所述排風管(71)上連通有除塵箱(75)，所述除塵箱(75)內等間距設置有多個除塵濾布(76)，所述除塵濾布(76)豎直設置且頂部與除塵箱(75)底壁連接，所述除塵箱(75)底部設置有排污口(77)。

7.根據權利要求6所述的一種晶棒返切設備，其特征在于，所述除塵箱(75)內還設置有振蕩清灰組件(8)，所述振蕩清灰組件(8)包括：

限位軸(81)，所述除塵箱(75)側壁上設置有限位軸(81)，所述限位軸(81)與排風電機(73)輸出軸同軸線設置；

振蕩套筒(82)，所述限位軸(81)上套設有振蕩套筒(82)，所述振蕩套筒(82)與限位軸(81)同軸線設置，且振蕩套筒(82)與除塵箱(75)側壁之間設置有振蕩彈簧(83)；

振蕩推塊(84)，所述排風電機(73)輸出軸端部設置有振蕩推塊(84)，所述振蕩推塊(84)設置為三角形結構，所述振蕩套筒(82)靠近排風電機(73)的一端沿圓周方向設置有嵌合槽(85)，所述嵌合槽(85)設置為三角形結構，且嵌合槽(85)與振蕩推塊(84)邊緣處均設置為弧形結構；

振蕩網(86)，所述振蕩套筒(82)上等間距設置有多個振蕩網(86)，所述振蕩網(86)與所述除塵濾布(76)抵接。

8.根據權利要求6所述的一種晶棒返切設備，其特征在于，所述排污口(77)設置為漏斗形結構。