[發明專利]酰亞胺磺酸酯類光產酸劑、抗蝕劑組合物及其應用、電子組件在審
| 申請號： | 202310197773.2 | 申請日： | 2023-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN116283945A | 公開（公告）日： | 2023-06-23 |
| 發明（設計）人： | 龔艷;徐亮;黃巍;鄭祥飛 | 申請（專利權）人： | 瑞紅（蘇州）電子化學品股份有限公司 |
| 主分類號： | C07D409/04 | 分類號： | C07D409/04;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;C07D409/14 |
| 代理公司： | 上海維卓專利代理有限公司 31409 | 代理人： | 盛曉磊 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 亞胺 磺酸酯類光產酸劑 抗蝕劑 組合 及其 應用 電子 組件 | ||
1.一種酰亞胺磺酸酯光酸，其特征在于，所述酰亞胺磺酸酯光酸具有以下結構：
其中，
R1選自C1-C20的直鏈或支鏈的烷基或氟代烷基、C3-C20的環烷基或氟代環烷基、C6-C18的取代或未取代的芳基、樟腦基、樟腦醌基或疊氮萘酮基團；
R2與R2’可相同，也可不同，各自獨立地選自下列基團：氫，鹵素，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基，C3-C20的環烷基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的鏈烯基和環烯基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的炔基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷氧基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷硫基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的鹵代烷基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的羥基取代烷基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的羥基烷氧基取代烷基，被C6-C10的芳基或芳氧基取代的C1-C20烷基，被1個以上的-O-、-S-、-O-CO-或-CO-O-中斷的C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基或烷氧基，取代或未取代的C6-C10芳基，C6-C20的芳基硫基，含有N、O和/或S的C2-C20的雜環基團；或者
R2，R2’彼此相連成環；
R3和R4各自獨立地選自下列基團：氫；硝基；氰基；羥基；鹵素；C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基，鏈上的氫原子可以被鹵原子或羥基、C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烯基、C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的炔基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基，或C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基中的-CH2-被-O-、-S-、-CO-、-COO-或-OCO-取代；C3-C30的環烷基，其中的氫原子可以被鹵素、C1-C20的直鏈或支鏈烷基、被1個以上的-O-、-S-、-OCO-或-COO-中斷的C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基所取代；橋環烷基，所述橋環烷基中的氫原子可以被鹵素、C1-C20的直鏈或支鏈烷基、被1個以上的-O-、-S-、-OCO-或-COO-中斷的C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基所取代；C6-C30芳基，C6-C30芳基的苯環上至少一個氫原子被C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷氧基、C6-C20的芳基取代的C1-C20烷氧基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷硫基、C1-C20的酰基、C1-C20的酰氧基或C1-C20的氧酰基取代；含有N、O和/或S的C2-C20的雜環基團，其中的氫原子可以被鹵原子或羥基、C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烯基、C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的炔基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基取代，其中，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基中的-CH2-被-O-、-S-、-CO-、-COO-或-OCO-取代；R3和R4可以連接成環。
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