[發明專利]一種正交滑臺精度補償方法

在審

• 申請號: 202310154925.0
• 申請日: 2023-02-22
• 公開（公告）號: CN116339234A
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 譚興聞;張偉瑋;尚振東
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號: G05B19/404
• 分類號: G05B19/404;B23Q15/00
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 李蜜

1.一種正交滑臺精度補償方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1利用激光干涉儀分別采集運動過程中的正交滑臺各個坐標采樣點的誤差進行測量，并將測量的誤差定義為定位誤差；

S2按照以下公式建立正交滑臺運動誤差初始補償模型：

式中，△x表示滑臺X軸補償值；△y表示滑臺Y軸補償值；δ_xx、δ_xy表示滑臺沿X軸運動時沿X方向的定位誤差和Y方向的直線度誤差，δ_yy、δ_yx表示滑臺沿Y軸運動時沿Y方向的定位誤差和X方向的直線度誤差；

S3依據測量的各個坐標采樣點的定位誤差和相應的待補償軸向坐標構建數據點，利用最小二乘法對數據點進行擬合得到擬合直線，以各數據點到擬合曲線的距離作為相應軸向的直線度誤差；

S4將待補償軸向各坐標采樣點的定位誤差和直線度誤差代入所述初始補償模型中得到各坐標采樣點的補償值；

S5依據待補償軸向各坐標采樣點坐標和相應補償值構建數據點，利用多項式對數據點進行擬合得到擬合曲線，即為待補償軸向補償模型；

S6重復上述步驟S3-S5，至得到正交滑臺各坐標軸軸向的補償模型，即得到正交滑臺最終補償模型。

S7利用該最終誤差補償模型，對正交滑臺運動進行補償。

2.根據權利要求1所述的正交滑臺精度補償方法，其特征在于，步驟S3的具體實現方式為：對于待補償軸向，以各個坐標采樣點的定位誤差為橫坐標相應的軸向坐標為縱坐標構建數據點，然后利用最小二乘法在數據點中擬合出一條擬合直線，將每個數據點到該直線的距離定義為該待補償軸向的直線度誤差。

3.根據權利要求1所述的正交滑臺精度補償方法，其特征在于，步驟S5的具體實現方式為：以待補償軸向各坐標采樣點坐標為橫坐標以相應補償值為縱坐標構建數據點，對構建的數據點進行多項式擬合，得到擬合曲線。

4.根據權利要求4所述的正交滑臺精度補償方法，其特征在于，對構建的數據點進行四項式擬合。

5.根據權利要求1所述的正交滑臺精度補償方法，其特征在于，步驟S7中，對正交滑臺最終補償模型進行封裝，再將封裝后的文件發送至控制正交滑臺的上位機進行調用，即可完成后續正交滑臺精度補償任務。