[發明專利]一種無接觸式檢測大樣品超微小缺陷的裝置

在審

• 申請號: 202310028247.3
• 申請日: 2023-01-09
• 公開（公告）號: CN116297471A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 李青巖;龔海;魏新和;顧海鵬;楊彥琳;陳俊秀
• 申請（專利權）人: 浙江大學湖州研究院
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 上海新隆知識產權代理事務所(普通合伙) 31366
• 代理人: 劉蘭英

1.一種無接觸式檢測大樣品超微小缺陷的裝置，其特征在于，包括一套高準直，高均勻度的線光發射系統和一套大視場高靈敏度的接收光學系統；所述線光發射系統包括依次設置的激光器、鮑威爾棱鏡、平凸柱面鏡，即激光出射后經過鮑威爾棱鏡形成一束發散的線激光光源，然后經過平凸柱面鏡進行準直得到高準直、高均勻度的線激光光源；所述的大視場高靈敏度的接收光學系統包括一個高質量的接收物鏡和陣列式光電探測器。

2.根據權利要求1所述的一種無接觸式檢測大樣品超微小缺陷的裝置，其特征在于，所述平凸柱面鏡表面為非球面，材料選用高折射率的S-LAH64，n＝1.777。

3.根據權利要求1所述的一種無接觸式檢測大樣品超微小缺陷的裝置，其特征在于，所述陣列式光電探測器放置于所述接收物鏡的離焦位置處，將探測視場內光束全部覆蓋陣列式光電探測器，確定最佳的離焦位置，離焦位置確定方法如下：接收物鏡的口徑為D，焦距為f，陣列式光電探測器的直徑為d，陣列式光電探測器與接收物鏡距離為l，則陣列式光電探測器的位置計算公式為：

4.根據權利要求1所述的一種無接觸式檢測大樣品超微小缺陷的裝置，其特征在于，所述接收物鏡表面為非球面，材料選用高折射率的S-LAH64，n＝1.777。

5.根據權利要求1所述的一種無接觸式檢測大樣品超微小缺陷的裝置，其特征在于，所述陣列式光電探測器所用雪崩光電探測器，實現更加微弱光電信號的探測。