[實(shí)用新型]一種光譜儀及光譜系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223528742.0
• 申請日: 2022-12-27
• 公開（公告）號: CN218822774U
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬騫;陸嘉文
• 申請（專利權(quán)）人: 南京看視界智能科技有限公司
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28;G01J3/02;G01N21/25;G01N21/01
• 代理公司: 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 李曉楠

本申請?zhí)峁┮环N光譜儀及光譜系統(tǒng)，其中，本申請?zhí)峁┮环N光譜儀，包括：沿入射光線方向依次設(shè)置的濾波陣列和探測裝置，濾波陣列包括多個濾波單元，濾波陣列具有沿第一方向相對設(shè)置在濾波單元兩端的第一面和第二面，第一面和第二面之間具有多個不同的距離，且至少兩個濾波單元對應(yīng)的第一面和第二面之間的距離相等，第一面和第二面之間的距離不同的濾波單元用于各自對應(yīng)的某一特定波長的光波。本申請用提高光譜結(jié)果的準(zhǔn)確性。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及光譜分析儀器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光譜儀及光譜系統(tǒng)。

背景技術(shù)

光譜儀是一種非常重要的科學(xué)技術(shù)儀器，它通過對輸入光信號進(jìn)行光譜組分和光信號波長上的光強(qiáng)分布的檢測，可以得到許多有用的信息。傳統(tǒng)的光譜儀依托體式光學(xué)元件，受限于體積與價(jià)格，主要在實(shí)驗(yàn)室中使用，為了能夠?qū)崿F(xiàn)便攜的目的，開發(fā)便攜式小型光譜儀器產(chǎn)品得到了廣泛關(guān)注。

考慮到陣列濾波式光譜儀由于具有微型化、速度快、高精度的優(yōu)勢，具有小型化發(fā)展的前景，但陣列濾波式光譜儀中的濾波陣列中的每個濾波單元相對微小,光斑在濾波陣列不同位置的分布是否均勻?qū)庾V儀還原結(jié)果的準(zhǔn)確性起決定作用，因而光譜儀在使用過程中，在不限制入射光源的情況下，入射到濾波陣列上的空間光會受入射光源的影響，比如光源發(fā)出的不同角度入射的光、或光源發(fā)出的光產(chǎn)生的光斑擴(kuò)散等情況均對入射到濾波陣列上的光斑的均勻性有影響，難以對入射光的參數(shù)進(jìn)行統(tǒng)一規(guī)定與校準(zhǔn)，從而影響著光譜儀的準(zhǔn)確性。

因此，亟需對光譜儀、光譜系統(tǒng)及校準(zhǔn)空間光均勻性的方法進(jìn)行改進(jìn)，提高光譜結(jié)果的準(zhǔn)確性。

發(fā)明內(nèi)容

本申請?zhí)峁┮环N光譜儀及光譜系統(tǒng)，提高光譜結(jié)果的準(zhǔn)確性。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請?zhí)峁┮环N光譜儀，包括：沿入射光線方向依次設(shè)置的濾波陣列和探測裝置，所述濾波陣列包括多個濾波單元，所述濾波陣列具有沿第一方向相對設(shè)置在所述濾波單元兩端的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面之間具有多個不同的距離，且至少兩個所述濾波單元對應(yīng)的所述第一面和所述第二面之間的距離相等，所述第一面和所述第二面之間的距離不同的所述濾波單元用于各自對應(yīng)的某一特定波長的光波。

本申請?zhí)峁┑囊环N光譜儀，因其采用的濾波陣列中，第一面和第二面之間具有多個不同的距離，并且至少兩個濾波單元對應(yīng)的第一面和第二面之間的距離相等，基于第一面和第二面之間的距離相等的至少兩個濾波單元對光線的濾波效果相同，便于通過該至少兩個濾波單元得到的光信息，對其余的濾波單元得到的光信息進(jìn)行補(bǔ)償校準(zhǔn)，從而消除不均勻的入射光對光譜儀準(zhǔn)確性帶來的不利影響。

在一種可能實(shí)施的方式中，所述第一面和所述第二面之間的距離相等的所述濾波單元形成一個濾波單元組，所述濾波單元組的個數(shù)為至少一個。

在一種可能實(shí)施的方式中，所述濾波單元組為多個，且不同的所述濾波單元組對應(yīng)的所述第一面和所述第二面之間的距離不相等。

在一種可能實(shí)施的方式中，所述濾波單元均包括沿所述第一方向依次設(shè)置的第一反射膜、中間層和第二反射膜，且所述第一反射膜和所述第二反射膜均與所述中間層連接，所述第一反射膜的背向所述中間層的一面形成所述第一面，所述第二反射膜的背向所述中間層的一面形成所述第二面。

在一種可能實(shí)施的方式中，所述濾波陣列的所述濾波單元一體連接，且所述第一面均位于同一平面，相鄰的所述濾波單元的所述第二面之間具有高度差。

在一種可能實(shí)施的方式中，所述濾波陣列的所述濾波單元一體連接，且所述第一面均位于同一平面，定義所述濾波單元組內(nèi)的所述濾波單元均為第一濾波單元，除所述第一濾波單元外的其余所述濾波單元對應(yīng)的所述第二面與所述第一面之間均具有大小一致的夾角。

在一種可能實(shí)施的方式中，除所述第一濾波單元外的其余所述濾波單元的所述第二面之間光滑過渡。

在一種可能實(shí)施的方式中，所述第一反射膜為金屬膜或氧化物介質(zhì)膜；和/或所述第二反射膜為金屬膜或氧化物介質(zhì)膜。