[實用新型]激光腔室以及氣體激光裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202223438696.5 | 申請日： | 2022-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN219041026U | 公開（公告）日： | 2023-05-16 |
| 發(fā)明（設計）人： | 田中誠;西埜陽祐;嘉藤真英 | 申請（專利權(quán)）人： | 極光先進雷射株式會社 |
| 主分類號： | H01S3/03 | 分類號： | H01S3/03;H01S3/038 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 馬冬生;田勇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 以及 氣體 裝置 | ||
1.一種激光腔室，其設置在氣體激光裝置中，其特征在于，所述激光腔室包括：
殼體，其內(nèi)部填充有激光氣體；
第1放電電極，其設置在所殼體的內(nèi)部；
第2放電電極，其設置在所述殼體的內(nèi)部并且與所述第1放電電極相對；
風扇，其產(chǎn)生使激光氣體在所述殼體的內(nèi)部循環(huán)的氣流，并且，所述激光氣體在所述第1放電電極與所述第2放電電極之間流過；
第1引導部，其設置在所述第1放電電極的激光氣體流動的下游側(cè)；以及
第2引導部，其設置在所述第2放電電極的激光氣體流動的下游側(cè)，
所述第1引導部和所述第2引導部在所述第1放電電極和所述第2放電電極的放電方向上相對的設置，所述第1引導部具有引導所述激光氣體的第1引導面和第2引導面，所述第2引導面位于所述第1引導面的激光氣體流動的下游側(cè)，并且所述第1引導面與所述放電方向之間的角度大于所述第2引導面與所述放電方向之間的角度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光腔室，其特征在于，
所述第1引導面與所述放電方向之間的角度小于或等于90度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光腔室，其特征在于，
所述第2引導部具有引導所述激光氣體的第3引導面和第4引導面，所述第4引導面位于所述第3引導面的激光氣體流動的下游側(cè)，并且所述第3引導面與所述放電方向之間的角度大于所述第4引導面與所述放電方向之間的角度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光腔室，其特征在于，
所述第3引導面與所述放電方向之間的角度小于或等于90度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光腔室，其特征在于，
所述第2引導部具有引導所述激光氣體的第5引導面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光腔室，其特征在于，所述激光腔室還包括：
第3引導部，其設置在所述第1放電電極的激光氣體流動的上游側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光腔室，其特征在于，
所述第3引導部具有引導所述激光氣體的第6引導面。
8.一種氣體激光裝置，其特征在于，所述氣體激光裝置包括：權(quán)利要求1至7中的任一項所述的激光腔室；
電源，其與所述激光腔室的內(nèi)部的第1放電電極和第2放電電極連接；以及
諧振器，其以夾著所述激光腔室的方式設置。
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