[實用新型]一種氣相沉積爐

有效

• 申請號: 202223409905.3
• 申請日: 2022-12-20
• 公開（公告）號: CN219079641U
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 杜寧;張金來;王振;楊傳昌;宋信信;葉天成
• 申請（專利權）人: 浙江鋰宸新材料科技有限公司;臨沂東木窯爐設備有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 浙江千克知識產權代理有限公司 33246
• 代理人: 周帥

本實用新型公開一種氣相沉積爐包括回轉爐體、爐體上框架、爐體下座；所述回轉爐體沿軸線方向可轉動的固定到爐體上框架上，所述爐體上框架可繞其一端可轉動地連接到爐體下座；所述回轉爐體為內部中空的筒形結構，內部設置有多組帶料板，包括出料帶料板、至少一組對稱攪拌帶料板組。本實用新型通過特殊設計的爐內帶料板結構能夠保證物料在爐管內部隨著爐體轉動實現軸與向徑向同步軌跡運動；微負角度設計與帶料板結合能夠實現物料在爐內來回流轉，使物料受熱與爐內氣氛接觸的相對均勻，保證物料一致性；通過進氣的花灑式結構，可以保障氣體與物料的接觸更加充分，實現沉積的均勻性。

技術領域

本實用新型涉及熱處理設備技術領域，具體為一種氣相沉積爐。

背景技術

氣相沉積技術是一種發展迅速、應用廣泛的表面成膜技術，它不僅可以用來制備各種特殊力學性能（如超硬、高耐蝕、耐熱和抗氧化等）的薄膜涂層，而且還可以用來制備各種功能薄膜材料和裝飾薄膜涂層等。在鋰電池材料的處理中也廣泛使用，比如進行碳、硅或其他成本的氣相沉積。

在鋰電池領域氣相沉積主要應用于粉狀原材料，如何保障氣相沉積得充分、均勻、高效是生產過程中需要解決的主要問題，特別是對于石墨等較為輕質的原材料，如何避免原材料在沉積過程中成團導致的沉積不均勻是生產中的難點。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種氣相沉積爐，以解決現有技術中存在的問題。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案提供了一種氣相沉積爐，包括回轉爐體、爐體上框架、爐體下座；所述回轉爐體沿軸線方向可轉動的固定到爐體上框架上，所述爐體上框架可繞其一端可轉動地連接到爐體下座；所述回轉爐體為內部中空的筒形結構，內部設置有多組帶料板，包括出料帶料板、至少一組對稱攪拌帶料板組。

優選的，所述氣相沉積爐還包括有致動桿，所述爐體上框架下部一端同爐體下座上部一端鉸接，另一端同致動桿一端鉸接，所述致動桿的另一端同爐體下座另一端鉸接。

優選的，所述致動桿為電動推桿、液壓油缸中任一種，所述致動桿為一根或多根，沿回轉爐體軸線對稱分布。

優選的，所述回轉爐體設置有圓臺狀腔體的出料端，其軸線同所述回轉爐體軸向重合，在所述出料端內壁上設置有至少一個同出料端軸線存在夾角的出料帶料板。

優選的，所述對稱攪拌帶料板組包括中間帶料板和對稱設置在中間帶料板兩側的兩端帶料板；所述中間帶料板平行于回轉爐體的軸線，所述兩端帶料板同回轉爐體的軸線設置有夾角。

優選的，所述兩端帶料板包括多個帶料子板，所述帶料子板相互平行設置，沿回轉爐體周向方向間隔布置。

優選的，所述帶料子板間隔角度為固定角度或相鄰兩塊帶料子板中，其中一塊帶料子板底邊最高點在上一塊帶料子板底邊最低點和中點之間。

優選的，所述回轉爐體還設置有進氣管，所述進氣管設置在回轉爐體端部的軸線處，伸入到回轉爐體內部，所述進氣管為封閉的圓筒結構，側面設置有多組進氣孔。

本實用新型通過特殊設計的爐內帶料板結構能夠保證物料在爐管內部隨著爐體轉動實現軸與向徑向同步軌跡運動；?微負角度設計與帶料板結合能夠實現物料在爐內來回流轉，使物料受熱與爐內氣氛接觸的相對均勻，保證物料一致性；通過進氣的花灑式結構，可以保障氣體與物料的接觸更加充分，實現沉積的均勻性。

為使本實用新型構思和其他目的、優點、特征及作用能更清楚易懂，將在下文具體實施方式中特舉較佳實施例，并配合附圖，作出詳細展開說明。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。