[實用新型]一種用于磁控濺射系統中靶材遮蔽的穹形檔板裝置

有效

• 申請號: 202223404291.X
• 申請日: 2022-12-19
• 公開（公告）號: CN219059106U
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 楊文超;韋尚潮;廖昭勝
• 申請（專利權）人: 安徽外延科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 上海恩凡知識產權代理有限公司 31459
• 代理人: 汪賀玲

1.一種用于磁控濺射系統中靶材遮蔽的穹形檔板裝置，包括：位于真空內部的靶座(b)，靶座(b)的內側設置靶材(a)，靶材(a)的前端設置擋板；位于真空外部設置的驅動結構(2)，其特征在于：真空內部設置有與擋板連接的傳動結構(5)；真空外部設置有與驅動結構(2)連接的旋轉結構(3)，旋轉結構(3)的前端延伸至真空內部與傳動結構(5)相接；

所述的旋轉結構(3)包括前端平置的旋轉導入器(31)，所述的旋轉導入器(31)由驅動結構(2)驅動轉動；所述的傳動結構(5)包括位于旋轉導入器(31)前方的主動錐齒輪(51)，以及位于靶座(b)上的固定座(53)，固定座(53)上垂直旋轉導入器(31)前端設置有旋轉軸(54)，旋轉軸(54)上設置從動錐齒輪(52)，主動錐齒輪(51)、從動錐齒輪(52)嚙合構成錐齒輪組，旋轉軸(54)上設置連接桿(55)，所述的擋板位于連接桿(55)的前端，從動錐齒輪(52)的轉動帶動連接桿(55)前端的擋板的開合。

2.根據權利要求1所述的一種用于磁控濺射系統中靶材遮蔽的穹形檔板裝置，其特征在于：所述的擋板為穹形擋板(1)；所述的連接桿(55)上沿靶座(b)的長度方向設置水平槽口(55a)，所述的旋轉軸(54)沿水平槽口(55a)的槽長方向可移，所述的旋轉軸(54)緊鎖于所述的水平槽口(55a)中。

3.根據權利要求2所述的一種用于磁控濺射系統中靶材遮蔽的穹形檔板裝置，其特征在于：固定座(53)上位于連接桿(55)一側設置硬限位塊(56)。

4.根據權利要求1所述的一種用于磁控濺射系統中靶材遮蔽的穹形檔板裝置，其特征在于：所述的傳動結構(5)與旋轉結構(3)之間設置可伸縮傳動結構(4)，所述的可伸縮傳動結構(4)包括與旋轉導入器(31)前端鉸接的水平不動桿(42)，水平不動桿(42)中同軸插置有可伸縮傳動桿(41)，所述的可伸縮傳動桿(41)沿水平不動桿(42)的桿長方向來回可移，所述的可伸縮傳動桿(41)上設置限位其轉動的轉動限制塊(43)，所述的主動錐齒輪(51)設置于可伸縮傳動結構(4)的可伸縮傳動桿(41)的最前端。

5.根據權利要求3所述的一種用于磁控濺射系統中靶材遮蔽的穹形檔板裝置，其特征在于：所述的驅動結構(2)的步進電機(21)的轉動帶動旋轉結構(3)的旋轉導入器(31)轉動。

6.根據權利要求5所述的一種用于磁控濺射系統中靶材遮蔽的穹形檔板裝置，其特征在于：步進電機(21)上設置位置限位器(22)，所述的位置限位器(22)包括步進電機(21)的轉動軸上設置的觸發塊，觸發塊的兩側設置限位開關，觸發塊距離兩側的限位開關的行程與穹形擋板(1)開合的行程對應。