[實用新型]供應管路和刻蝕設備有效
| 申請號： | 202223308200.2 | 申請日： | 2022-12-09 |
| 公開（公告）號： | CN219552831U | 公開（公告）日： | 2023-08-18 |
| 發明（設計）人： | 李淳東;劉杰;鄒威;胡永紅;陳稅;石云天;張燦;程婉君 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;重慶京東方顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F7/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 李紅標 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 供應 管路 刻蝕 設備 | ||
1.一種供應管路，其特征在于，包括：
主管路，所述主管路上具有第一進口與多個第一出口，多個所述第一出口沿所述主管路的長度方向間隔分布；
多個支管，每個所述支管上具有多個第二進口和多個第二出口，多個所述第二進口沿所述支管的長度方向間隔分布，多個所述第二出口沿所述支管的長度方向間隔分布；
多個第一連接管，所述支管上的每個所述第二進口分別通過一個所述第一連接管與對應的所述第一出口連通。
2.根據權利要求1所述的供應管路，其特征在于，同一個所述支管上連接的第一連接管與同一個所述第一出口連通。
3.根據權利要求1所述的供應管路，其特征在于，
所述支管上位于相鄰所述第二進口之間的區域設有所述第二出口。
4.根據權利要求1所述的供應管路，其特征在于，多個所述第二進口沿所述支管的長度方向均勻間隔分布；和/或
多個所述第二出口沿所述支管的長度方向均勻間隔分布。
5.根據權利要求1所述的供應管路，其特征在于，所述第一連接管的數量為n，第i個第一連接管的長度為Li，第i個第一連接管的內徑為Di，第j個第一連接管的長度為Lj，第j個第一連接管的內徑為Dj，Li與Lj的比值等于Di與Dj的比值，其中，i,j＝1,2,3,...,n。
6.根據權利要求1所述的供應管路，其特征在于，多個所述第一出口沿所述主管路的長度方向均勻間隔分布。
7.根據權利要求1所述的供應管路，其特征在于，所述主管路上具有多個所述第一進口，多個所述第一進口沿所述主管路的長度方向間隔分布。
8.根據權利要求7所述的供應管路，其特征在于，多個所述第一進口沿所述主管路的長度方向均勻間隔分布。
9.根據權利要求7所述的供應管路，其特征在于，所述主管路上位于相鄰所述第一進口之間的區域設有所述第一出口。
10.根據權利要求7所述的供應管路，其特征在于，還包括：
多個第二連接管，每個所述第二連接管的一端分別和一個所述第一進口連通。
11.根據權利要求10所述的供應管路，其特征在于，所述第二連接管的數量為m，第a個第二連接管的長度為La，第a個第二連接管的內徑為Da，第b個第二連接管的長度為Lb，第b個第二連接管的內徑為Db，La與Lb的比值等于Da與Db的比值，其中，a,b＝1,2,3,...,m。
12.根據權利要求10所述的供應管路，其特征在于，還包括：
連接頭，所述連接頭上具有連接口，所述連接口與所述第二連接管的另一端連通。
13.根據權利要求1所述的供應管路，其特征在于，還包括：
流出管，每個所述第二出口分別與對應的一個所述流出管連通。
14.根據權利要求1所述的供應管路，其特征在于，多個所述支管的材質相同；和/或
多個所述第一連接管的材質相同。
15.一種刻蝕設備，其特征在于，包括：
權利要求1-14中任一項所述的供應管路。
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