[實用新型]一種方便樣品擺盤的老化測試治具

有效

• 申請號: 202223305020.9
• 申請日: 2022-12-09
• 公開（公告）號: CN219162265U
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發明（設計）人: 盧世雄
• 申請（專利權）人: 深圳市賓德寶電子科技有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R1/04
• 代理公司: 深圳市遠航專利商標事務所(普通合伙) 44276
• 代理人: 田志遠;張朝陽

本實用新型公開了一種方便樣品擺盤的老化測試治具，涉及芯片測試技術領域，該方便樣品擺盤的老化測試治具，包括治具臺面和安裝在治具臺面的設備支架，所述治具臺面的頂端表面安裝有樣品固定機構，所述樣品固定機構用于實現快速樣品擺盤操作，所述設備支架的頂端表面安裝有驅動系統，所述驅動系統的底端表面安裝有擺盤輔助機構，所述擺盤輔助機構用于輔助將樣品進行擺正。本實用新型通過將激振器和驅動氣缸接入電路，通過驅動氣缸帶動移動板向下移動，直至柔性支軸與芯片表面接觸，通過激振器帶動振動板振動，使得柔性支軸同步振動，柔性支軸與芯片表面接觸后帶動芯片在測試臺板表面移動，從而使得芯片對應掉落至樣品定位腔內。

技術領域

本實用新型涉及芯片測試技術領域，具體為一種方便樣品擺盤的老化測試治具。

背景技術

隨著半導體技術的快速發展和芯片復雜性的逐年增加，芯片測試貫穿了整個設計開發和生產過程，芯片老化試驗的最終目的是預測產品的使用壽命，評估或預測制造商生產的產品的耐久性,越來越具有挑戰性,老化測試是一項重要的測試，用于在交付給客戶之前消除早期故障產品。

通常對芯片進行老化測試都需要先將每塊待測試芯片放置于老化測試治具板的測試座內，再將裝夾好芯片的老化測試治具板放入老化測試設備內進行老化測試，為了提高芯片老化測試的效率，現有的老化測試治具板上大都以矩陣的形式排列設置有多個芯片測試座，而在實際作業過程中卻都是采用人工手動的方式將待測試芯片逐個擺放并插入到老化測試治具板的芯片測試座內，同樣的經老化測試后的芯片冷卻后也需要通過人工手動的方式將測試后的芯片從老化測試治具內逐一取出并按測試結果將檢測良品、不合格品進行分類存放；這就導致芯片的整個老化測試效率低、工人工作強度大的問題。

實用新型內容

本實用新型提供了一種方便樣品擺盤的老化測試治具，具備方便樣品擺盤的優點，以解決現有的測試治具具有老化測試效率低、工人工作強度大的問題。

為實現方便樣品擺盤的目的，本實用新型提供如下技術方案：一種方便樣品擺盤的老化測試治具，包括治具臺面和安裝在治具臺面的設備支架，所述治具臺面的頂端表面安裝有樣品固定機構，所述樣品固定機構用于實現快速樣品擺盤操作，所述設備支架的頂端表面安裝有驅動系統，所述驅動系統的底端表面安裝有擺盤輔助機構，所述擺盤輔助機構用于輔助將樣品進行擺正，所述驅動系統用于為擺盤輔助機構提供驅動力。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述樣品固定機構包括樣品擺盤組件和定位組件，所述樣品擺盤組件安裝在治具臺面的頂端表面，所述定位組件安裝在鄰近樣品擺盤組件一側的治具臺面頂端表面。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述樣品擺盤組件包括測試臺板和頂出板，所述測試臺板安裝在治具臺面的頂端表面，所述測試臺板的內部均勻分布有若干個樣品定位腔，若干個所述頂出板活動安裝在對應的樣品定位腔的內壁處，若干個所述頂出板的底端表面分別安裝有連接軸，所述連接軸的底端表面共同安裝聯動板，所述聯動板的底端表面安裝有連接彈簧，所述聯動板活動安裝在樣品定位腔的內壁處，若干個所述聯動板的末端共同安裝有固定板。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述定位組件包括可拆套筒和限位卡板，鄰近所述測試臺板一側的治具臺面頂端表面開設有活動槽，所述可拆套筒活動安裝在活動槽的內壁處，所述限位卡板安裝在可拆套筒的外側表面，所述限位卡板的底端表面與固定板的頂端表面活動接觸。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述驅動系統包括驅動氣缸和氣缸軸，所述驅動氣缸安裝在設備支架的頂端表面，所述氣缸軸安裝在驅動氣缸的輸出端外側表面，所述氣缸軸的底端表面延伸至設備支架的下方，所述氣缸軸的底端表面安裝有移動板。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述擺盤輔助機構包括激振器和擺盤組件，所述激振器安裝在移動板的底端表面，所述擺盤組件安裝在激振器的輸出端底端表面。