[實用新型]一種檢測定位裝置

有效

• 申請號: 202223299742.8
• 申請日: 2022-12-09
• 公開（公告）號: CN219319450U
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發明（設計）人: 楊茂;易卓卓
• 申請（專利權）人: 無錫鑫運達真空技術有限公司
• 主分類號: G01D11/00
• 分類號: G01D11/00;G01D11/30
• 代理公司: 南京業騰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32321
• 代理人: 馬靜靜

本實用新型公開了一種檢測定位裝置，屬于晶圓檢測技術領域,包括固定底板、支撐架和檢測探頭，所述固定底板的頂部設置有移動臺，所述移動臺的頂部設置有固定臺，所述固定臺的兩端對稱設置有兩個固定架，所述固定架的內部對稱設置有兩個螺紋桿，所述螺紋桿上對稱設置有兩個螺紋環，所述螺紋環通過連接塊一連接有轉動板，所述轉動板之間設置有連接塊二，所述連接塊二上對稱設置有兩個轉動柱，所述連接塊二的端部設置有定位塊，所述固定架的內部與螺紋桿之間設置有驅動組件。本實用新型通過定位塊等部件的配合使用，可以便捷的對待檢測的晶圓進行快速定位，便于進行固定。

技術領域

本實用新型涉及晶圓檢測技術領域，具體為一種檢測定位裝置。

背景技術

晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。

然而，現有的檢測定位裝置在使用的過程中存在以下的問題：由于在晶圓放置在檢測臺上時，不能快速的對晶圓進行定位，導致影響固定的速度。為此，需要設計相應的技術方案解決存在的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種檢測定位裝置，解決了因在晶圓放置在檢測臺上時，不能快速的對晶圓進行定位導致的影響固定的速度的技術問題，滿足實際使用需求。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：包括固定底板、支撐架和檢測探頭，所述固定底板的頂部設置有移動臺，所述移動臺的頂部設置有固定臺，所述固定臺的兩端對稱設置有兩個固定架，所述固定架的內部對稱設置有兩個螺紋桿，所述螺紋桿上對稱設置有兩個螺紋環，所述螺紋環通過連接塊一連接有轉動板，所述轉動板之間設置有連接塊二，所述連接塊二上對稱設置有兩個轉動柱，所述連接塊二的端部設置有定位塊，所述固定架的內部與螺紋桿之間設置有驅動組件。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述固定底板的底部設置有防滑塊，所述支撐架上具有調節結構，所述支撐架上安裝有吹氣管。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述固定臺的內部及頂部之間設有吸附固定件，所述固定架上開設有配合連接塊一使用的通孔，所述固定架與固定臺之間為螺栓連接。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述驅動組件包括若干傳動輪、驅動電機和傳動條，所述驅動電機固定安裝在固定架上，所述傳動輪分別固定在螺紋桿和驅動電機的驅動端上，所述傳動條位于傳動輪之間。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述螺紋桿上設有兩組方向相反的螺紋，所述連接塊一橫截面呈“T”狀結構，所述轉動板與連接塊一和轉動柱之間為轉動連接，所述定位塊的邊角呈圓弧狀結構。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

通過定位塊等部件的配合使用，可以便捷的對裝有晶圓的固定板進行快速定位，便于將固定板移動到固定臺的中部位置，保證了吸附固定件連接的穩定性,從而解決了影響固定的速度的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體示意圖；

圖2為本實用新型所述固定架結構圖；

圖3為本實用新型所述螺紋桿結構圖；

圖4為本實用新型所述轉動板結構圖。

圖中:固定底板-1，移動臺-2，固定臺-3，固定架-4，檢測探頭-5，支撐架-6，螺紋桿-7，轉動板-8，螺紋環-9，連接塊一-10，轉動柱-11，連接塊二-12，定位塊-13，驅動組件-14。

實施方式