[實(shí)用新型]一種沉積鍍膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223248571.6
• 申請(qǐng)日: 2022-12-05
• 公開（公告）號(hào): CN218756031U
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱家暢;王森;郭永強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 嘉興阿特斯技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50;C23C16/46
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 楊杰

1.一種沉積鍍膜裝置，其特征在于，包括：

反應(yīng)艙(210)，內(nèi)部設(shè)置有鍍膜腔(211)；

陽極熱板(230)和陰極熱板(220)，相對(duì)設(shè)置于所述鍍膜腔(211)內(nèi)；及

輸送機(jī)構(gòu)(240)，被配置為在所述鍍膜腔(211)內(nèi)沿第一方向輸送用于承載待鍍膜基板的載板(100)，所述第一方向與所述陽極熱板(230)和所述陰極熱板(220)的排列方向垂直，所述載板(100)背離其承載面的一面與所述陽極熱板(230)朝向所述陰極熱板(220)的一側(cè)接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積鍍膜裝置，其特征在于，所述沉積鍍膜裝置還包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)(250)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)(250)被配置為驅(qū)動(dòng)所述陽極熱板(230)朝向所述陰極熱板(220)移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的沉積鍍膜裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)(250)包括：

移動(dòng)架(251)，設(shè)置于所述反應(yīng)艙(210)的外部；

推桿(252)，所述推桿(252)的一端固定連接于所述移動(dòng)架(251)，所述推桿(252)的另一端穿過所述反應(yīng)艙(210)伸入所述鍍膜腔(211)內(nèi)，并與所述陽極熱板(230)固定連接；及

第一驅(qū)動(dòng)件(253)，被配置為驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)架(251)沿所述陽極熱板(230)和所述陰極熱板(220)的排列方向移動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的沉積鍍膜裝置，其特征在于，所述推桿(252)的外周套設(shè)有波紋管，所述波紋管被抵壓于所述反應(yīng)艙(210)和所述推桿(252)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積鍍膜裝置，其特征在于，所述輸送機(jī)構(gòu)(240)包括一對(duì)傳動(dòng)輥軸組，一對(duì)所述傳動(dòng)輥軸組沿第二方向間隔設(shè)置，所述第二方向垂直于所述陽極熱板(230)和所述陰極熱板(220)的排列方向及所述第一方向，所述傳動(dòng)輥軸組包括沿所述第一方向間隔設(shè)置的多個(gè)傳動(dòng)輥軸(2411)，所述傳動(dòng)輥軸(2411)的一端伸出所述反應(yīng)艙(210)并與第二驅(qū)動(dòng)件傳動(dòng)連接，所述載板(100)能夠承載于一對(duì)所述傳動(dòng)輥軸組上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的沉積鍍膜裝置，其特征在于，所述沉積鍍膜裝置還包括磁流體密封件，所述磁流體密封件套設(shè)于所述傳動(dòng)輥軸(2411)的外周并被抵壓于所述反應(yīng)艙(210)和所述傳動(dòng)輥軸(2411)之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積鍍膜裝置，其特征在于，所述沉積鍍膜裝置還包括真空發(fā)生器及抽真空管道(260)，所述抽真空管道(260)的兩端分別與所述真空發(fā)生器和所述鍍膜腔(211)連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積鍍膜裝置，其特征在于，所述沉積鍍膜裝置還包括布?xì)夂?270)，所述布?xì)夂?270)安裝于所述反應(yīng)艙(210)的外部，并被配置為向所述鍍膜腔(211)內(nèi)通入反應(yīng)氣體。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積鍍膜裝置，其特征在于，所述陰極熱板(220)通過第一加熱端子(221)與安裝于所述反應(yīng)艙(210)外部的第一加熱源連通，所述第一加熱端子(221)與所述反應(yīng)艙(210)之間呈密封設(shè)置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積鍍膜裝置，其特征在于，所述陽極熱板(230)通過第二加熱端子(231)與安裝于所述反應(yīng)艙(210)外部的第二加熱源連通，所述第二加熱端子(231)與所述反應(yīng)艙(210)之間呈密封設(shè)置。