[實用新型]一種波長可調(diào)的OADM器件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223208506.0
• 申請日: 2022-12-01
• 公開（公告）號: CN218824791U
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 方青;董潤宇;張志群;陳華
• 申請（專利權(quán)）人: 昆明理工大學(xué)
• 主分類號: G02B6/293
• 分類號: G02B6/293;G02F1/01
• 代理公司: 昆明隆合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 53220
• 代理人: 何嬌

1.一種波長可調(diào)的OADM器件，其特征在于：結(jié)構(gòu)從下自上依次為襯底層、底層波導(dǎo)芯層(4)、中層波導(dǎo)芯層(5)、頂層電極層(6)，各個層間均有包覆層隔開；

所述底層波導(dǎo)芯層(4)包括2×2多模干涉耦合器Ⅰ(1)、2×2多模干涉耦合器Ⅱ(3)、錐形輸出波導(dǎo)X1、錐形輸出波導(dǎo)X2、錐形輸入波導(dǎo)X3、錐形輸入波導(dǎo)X4；2×2多模干涉耦合器Ⅰ(1)分別與錐形輸出波導(dǎo)X1、錐形輸出波導(dǎo)X2連接，錐形輸入波導(dǎo)X3、錐形輸入波導(dǎo)X4分別與2×2多模干涉耦合器Ⅱ(3)連接；

所述中層波導(dǎo)芯層(5)包括Si₃N₄光柵Ⅰ(2)、錐形輸入波導(dǎo)Y1、錐形輸入波導(dǎo)Y2、錐形輸出波導(dǎo)Y3、錐形輸出波導(dǎo)Y4、輸入端直波導(dǎo)Z1、輸入端直波導(dǎo)Z2、輸出端直波導(dǎo)Z3、輸出端直波導(dǎo)Z4、Si₃N₄光柵Ⅱ(7)；

錐形輸入波導(dǎo)Y1、輸入端直波導(dǎo)Z1、Si₃N₄光柵Ⅰ(2)、輸出端直波導(dǎo)Z3、錐形輸出波導(dǎo)Y3依次連接；

錐形輸入波導(dǎo)Y2、輸入端直波導(dǎo)Z2、Si₃N₄光柵Ⅱ(7)、輸出端直波導(dǎo)Z4、錐形輸出波導(dǎo)Y4依次連接；

錐形輸入波導(dǎo)Y1、錐形輸入波導(dǎo)Y2分別位于錐形輸出波導(dǎo)X1、錐形輸出波導(dǎo)X2正上方，錐形輸出波導(dǎo)Y3、錐形輸出波導(dǎo)Y4分別錐形輸入波導(dǎo)X3、錐形輸入波導(dǎo)X4正上方；

所述頂層電極層(6)中電極分布于2×2多模干涉耦合器Ⅰ(1)、2×2多模干涉耦合器Ⅱ(3)的多模波導(dǎo)區(qū)Ⅰ(15)、多模波導(dǎo)區(qū)Ⅱ(35)上方以及Si₃N₄光柵Ⅰ(2)上方；

所述2×2多模干涉耦合器Ⅰ(1)、2×2多模干涉耦合器Ⅱ(3)分別位于中層波導(dǎo)芯層(5)首尾下方關(guān)于中層波導(dǎo)芯層(5)的中心呈對稱分布。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長可調(diào)的OADM器件，其特征在于：所述2×2多模干涉耦合器Ⅰ(1)包括單模輸入波導(dǎo)Ⅰ(11)、單模輸入波導(dǎo)Ⅱ(12)、多模波導(dǎo)區(qū)Ⅰ(15)、單模輸出波導(dǎo)Ⅰ(13)、單模輸出波導(dǎo)Ⅱ(14)；單模輸入波導(dǎo)Ⅰ(11)、單模輸入波導(dǎo)Ⅱ(12)均與多模波導(dǎo)區(qū)Ⅰ(15)相連，多模波導(dǎo)區(qū)Ⅰ(15)分別與單模輸出波導(dǎo)Ⅰ(13)、單模輸出波導(dǎo)Ⅱ(14)相連，單模輸出波導(dǎo)Ⅰ(13)、單模輸出波導(dǎo)Ⅱ(14)分別連接錐形輸出波導(dǎo)X1、錐形輸出波導(dǎo)X2；

所述2×2多模干涉耦合器Ⅱ(3)包括單模輸入波導(dǎo)Ⅲ(31)、單模輸入波導(dǎo)Ⅳ(32)、多模波導(dǎo)區(qū)Ⅱ(35)、單模輸出波導(dǎo)Ⅲ(33)、單模輸出波導(dǎo)Ⅳ(34)；錐形輸入波導(dǎo)X3、錐形輸入波導(dǎo)X4分別與單模輸入波導(dǎo)Ⅲ(31)、單模輸入波導(dǎo)Ⅳ(32)相連，單模輸入波導(dǎo)Ⅲ(31)、單模輸入波導(dǎo)Ⅳ(32)均與多模波導(dǎo)區(qū)Ⅱ(35)連接，多模波導(dǎo)區(qū)Ⅱ(35)再分別與單模輸出波導(dǎo)Ⅲ(33)、單模輸出波導(dǎo)Ⅳ(34)連接；

所述錐形輸出波導(dǎo)X1、錐形輸出波導(dǎo)X2尖端朝右，錐形輸入波導(dǎo)X3、錐形輸入波導(dǎo)X4尖端朝左；錐形輸入波導(dǎo)Y1、錐形輸入波導(dǎo)Y2尖端朝左，錐形輸出波導(dǎo)Y3、錐形輸出波導(dǎo)Y4尖端朝右。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長可調(diào)的OADM器件，其特征在于：所述底層波導(dǎo)芯層(4)在中層波導(dǎo)芯層(5)下方，底層波導(dǎo)芯層(4)與中層波導(dǎo)芯層(5)進行層間耦合具體為：光信號由2×2多模干涉耦合器Ⅰ(1)完成分光后進入錐形輸出波導(dǎo)X1、錐形輸出波導(dǎo)X2后耦合進錐形輸入波導(dǎo)Y1、錐形輸入波導(dǎo)Y2，通過Si₃N₄光柵Ⅰ(2)、Si₃N₄光柵Ⅱ(7)后根據(jù)布拉格條件將符合布拉格波長的光信號反射至2×2多模干涉耦合器Ⅰ(1)，其余波長光信號經(jīng)過輸出端直波導(dǎo)Z3、輸出端直波導(dǎo)Z4和錐形輸出波導(dǎo)Y3、錐形輸出波導(dǎo)Y4耦合進錐形輸入波導(dǎo)X3、錐形輸入波導(dǎo)X4再進入2×2多模干涉耦合器Ⅱ(3)。