[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223174321.2
• 申請(qǐng)日: 2022-11-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218666261U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 匡國(guó)慶;匡靜;萬(wàn)安江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鎮(zhèn)江市德利克真空設(shè)備科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 南京創(chuàng)略知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32358
• 代理人: 嚴(yán)靖

1.一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路，其特征在于，包括管路座（1），

所述管路座（1）的其中一面上開(kāi)設(shè)有一個(gè)主氣口（2）和多個(gè)輔氣口（3）；

所述主氣口（2）依次連接主一級(jí)分氣路、主二級(jí)分氣路、主三級(jí)分氣路和主四級(jí)分氣路；

每個(gè)所述輔氣口（3）依次連接輔一級(jí)分氣路、輔二級(jí)分氣路和輔三級(jí)分氣路；

所述管路座（1）的另一面上間隔開(kāi)設(shè)有多個(gè)緩沖室（4），所述主四級(jí)分氣路以及輔三級(jí)分氣路端部均貫穿所述管路座（1）與對(duì)應(yīng)的所述緩沖室（4）連通。

2.如權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路，其特征在于，所述主一級(jí)分氣路、主二級(jí)分氣路和主四級(jí)分氣路均為一分為二氣路結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路，其特征在于，所述主三級(jí)分氣路為一分為三氣路結(jié)構(gòu)，所述主氣口（2）的氣流經(jīng)主一級(jí)分氣路、主二級(jí)分氣路、主三級(jí)分氣路和主四級(jí)分氣路分流后形成24條分氣流。

4.如權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路，其特征在于，所述輔氣口（3）開(kāi)設(shè)有五個(gè)，分別為第一輔氣口、第二輔氣口、第三輔氣口、第四輔氣口和第五輔氣口；其中第二輔氣口以及第三輔氣口和第四輔氣口以及第五輔氣口對(duì)稱分布于第一輔氣口兩側(cè)。

5.如權(quán)利要求4所述的一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路，其特征在于，所述第一輔氣口的輔一級(jí)分氣路、輔二級(jí)分氣路和輔三級(jí)分氣路均為一分為二氣路結(jié)構(gòu)，使得所述第一輔氣口的氣流經(jīng)輔一級(jí)分氣路、輔二級(jí)分氣路和輔三級(jí)分氣路分流后形成8條分氣流；

而第二輔氣口、第三輔氣口、第四輔氣口和第五輔氣口的輔一級(jí)分氣路為單一氣路，輔二級(jí)分氣路和輔三級(jí)分氣路為一分為二氣路結(jié)構(gòu)，使得所述第二輔氣口、第三輔氣口、第四輔氣口和第五輔氣口的氣流輔一級(jí)分氣路、輔二級(jí)分氣路和輔三級(jí)分氣路分流后形成16條分氣流。

6.如權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路，其特征在于，所述管路座（1）上間隔設(shè)置有多個(gè)緩沖塊（5），所述緩沖室（4）為腰型，開(kāi)設(shè)于所述緩沖塊（5）上。

7.如權(quán)利要求6所述的一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路，其特征在于，所述主四級(jí)分氣路以及輔三級(jí)分氣路端部分別貫穿腰型緩沖室（4）兩端。

8.如權(quán)利要求6所述的一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路，其特征在于，所述緩沖塊（5）的中間位置開(kāi)設(shè)有混合氣體分路（6），所述混合氣體分路（6）與緩沖室（4）連通，用于導(dǎo)出緩沖室（4）內(nèi)混合均勻的氣體。

9.如權(quán)利要求8所述的一種旋轉(zhuǎn)陰極供氣系統(tǒng)管路，其特征在于，所述混合氣體分路（6）從緩沖室（4）中間向兩側(cè)延伸。