[實用新型]定向氣體擴散器及設備

有效

• 申請號: 202223054556.8
• 申請日: 2022-11-17
• 公開（公告）號: CN219260185U
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: M·阿多里西奧;D·麥克里姆蒙;V·瓦爾克;D·戴恩;B·斯庫勒
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;H01L21/67
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李婷

1.一種定向氣體擴散器，其特征在于所述定向氣體擴散器包括：

細長殼體，所述殼體包括：

入口端，

封閉端，

長度，其在所述入口端與所述封閉端之間，

開口，其在所述殼體的正面上沿著所述長度延伸，及

通道，其在所述入口與所述封閉端之間延伸，所述通道是沿著所述長度由以下各項界定：

所述開口，其沿著所述正面延伸，

細長背面，及

細長側面，其中所述通道具有長度、寬度、深度及沿著所述通道長度的不同橫截面面積。

2.根據權利要求1所述的擴散器，其特征在于所述長度大于所述寬度，且所述寬度大于所述通道的最大深度。

3.根據權利要求1所述的擴散器，其特征在于隨著所述通道朝向所述封閉端延伸，所述深度沿著所述長度的部分減小。

4.根據權利要求1所述的擴散器，其特征在于所述細長背面是無孔的，且所述兩個細長側面是無孔的。

5.根據權利要求1所述的擴散器，其特征在于所述殼體進一步包括多層復合材料，所述多層復合材料從所述細長背面延伸到所述正面。

6.一種定向氣體擴散器，其特征在于所述定向氣體擴散器包括：

細長殼體，所述殼體包括：

入口端，其包括入口，

封閉端，

長度，其在所述入口端與所述封閉端之間，

開口，其在所述殼體的正面上沿著所述長度延伸，及

內部通道，其在所述入口與所述封閉端之間延伸，所述通道是沿著所述長度由以下各項界定：

所述開口，其在所述正面上，

細長無孔背面，及

細長無孔側面。

7.根據權利要求6所述的擴散器，其特征在于所述長度大于所述通道的寬度，且所述寬度大于所述通道的最大深度。

8.根據權利要求6所述的擴散器，其特征在于隨著所述通道朝向所述封閉端延伸，所述通道的深度沿著所述長度的部分減小。

9.根據權利要求6所述的擴散器，其特征在于所述殼體進一步包括多層復合材料，所述多層復合材料從所述細長無孔背面延伸到所述正面。

10.一種用于制造、存儲、運輸，或處置多個半導體晶片的設備，其特征在于所述設備包括腔室，所述腔室包含內部，所述內部經調適以容納一或多個半導體晶片，所述腔室在所述內部處包括連接到惰性氣體源的根據權利要求1或6的所述定向氣體擴散器。