[發(fā)明專利]角速度檢測電路、角速度檢測裝置、電子設(shè)備以及移動體

在審

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• 申請日: 2017-03-01
• 公開（公告）號: CN107152927A
• 公開（公告）日: 2017-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金本啓
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5776
• 分類號: G01C19/5776;G01C21/18;G01C19/5719
• 代理公司: 北京金信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11225
• 代理人: 蘇萌萌,許梅鈺

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種角速度檢測電路、角速度檢測裝置、電子設(shè)備以及移動體。

背景技術(shù)

近年來，開發(fā)有一種使用例如硅MEMS(Micro Electro Mechanical System：微機電系統(tǒng))技術(shù)來對角速度進行檢測的角速度傳感器(陀螺傳感器)。

在專利文獻1中，公開了如下的技術(shù)，即，通過電容耦合的方式向檢測電路的前級(檢測模塊部與C/V轉(zhuǎn)換電路之間)輸入正交誤差消除信號，由此來降低檢測模塊部的輸出信號中所包括的正交信號的技術(shù)。

然而，在專利文獻1所記載的陀螺傳感器中，檢測模塊部的輸出信號為一個，而關(guān)于針對具備輸出多個檢測信號(例如互為反相的兩個檢測信號)的角速度檢測元件的角速度檢測裝置來降低該多個檢測信號中所各自包括的正交信號的方法，在專利文獻1中并未予以公開。

專利文獻1：美國專利申請公開第2007/0180908號說明書

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于以上的問題點而被完成，根據(jù)本發(fā)明的幾個方式，能夠提供一種使基于從角速度檢測元件輸出的多個檢測信號而生成的輸出信號的S/N提高的角速度檢測電路以及角速度檢測裝置。此外，根據(jù)本發(fā)明的幾個方式，能夠提供一種使用了該角速度檢測裝置的電子設(shè)備以及移動體。

本發(fā)明為了解決前文所述的課題的至少一部分而被完成，其能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例而實現(xiàn)。

應(yīng)用例1

本應(yīng)用例所涉及的角速度檢測電路包括：第一轉(zhuǎn)換部，其將從角速度檢測元件的第一檢測電極輸出的第一檢測信號轉(zhuǎn)換為電壓；第二轉(zhuǎn)換部，其將從所述角速度檢測元件的第二檢測電極輸出的第二檢測信號轉(zhuǎn)換為電壓；角速度信號生成部，其具有對基于所述第一轉(zhuǎn)換部的輸出信號而產(chǎn)生的信號與基于所述第二轉(zhuǎn)換部的輸出信號而產(chǎn)生的信號進行差動放大的差動放大部，并基于所述差動放大部的輸出信號而生成角速度信號；修正信號生成部，其根據(jù)基于所述角速度檢測元件的驅(qū)動振動而產(chǎn)生的信號，生成用于使因所述第一檢測信號以及所述第二檢測信號中所包含的泄漏信號而產(chǎn)生的所述角速度信號的偏移降低的修正信號，所述修正信號被輸入至處于從所述第一檢測電極起至所述差動放大部的第一信號路徑上的電路。

第一轉(zhuǎn)換部例如可以為將電荷轉(zhuǎn)換為電壓的Q/V轉(zhuǎn)換器(電荷放大器)，也可以為將電流轉(zhuǎn)換為電壓的I/V轉(zhuǎn)換器。同樣地，第二轉(zhuǎn)換部例如可以為將電荷轉(zhuǎn)換為電壓的Q/V轉(zhuǎn)換器(電荷放大器)，也可以為將電流轉(zhuǎn)換為電壓的I/V轉(zhuǎn)換器。

應(yīng)用例2

在上述應(yīng)用例所涉及的角速度檢測電路中，也可以采用如下方式，即，所述修正信號被輸入至與所述第一轉(zhuǎn)換部相比靠后級的電路。

應(yīng)用例3

上述應(yīng)用例所涉及的角速度檢測電路也可以包括加法電路，該加法電路被設(shè)置在所述第一信號路徑上，并將所述第一轉(zhuǎn)換部的輸出信號與所述修正信號相加。

根據(jù)這些應(yīng)用例所涉及的角速度檢測電路，通過將修正信號輸入到處于從角速度檢測元件的第一檢測電極起至差動放大部的第一信號路徑上的電路(與第一轉(zhuǎn)換部相比靠后級的電路或加法電路)，從而能夠使因第一檢測信號以及第二檢測信號中所包含的泄漏信號而產(chǎn)生的角速度信號的偏移降低。因此，根據(jù)本應(yīng)用例所涉及的角速度檢測電路，差動放大部的輸出信號中所包含的角速度分量(科里奧利信號)與噪聲分量之比會增大，其結(jié)果為，能夠提高基于差動放大部的輸出信號而生成的角速度信號的S/N。

應(yīng)用例4

在上述應(yīng)用例所涉及的角速度檢測電路中，也可以采用如下方式，即，所述修正信號不被輸入至處于從所述第二檢測電極起至所述差動放大部的第二信號路徑上的電路。

根據(jù)本應(yīng)用例所涉及的角速度檢測電路，由于在從第二檢測電極至所述差動放大部的第二信號路徑中不需要設(shè)置要被輸入修正信號的電路，因此能夠削減電路面積。

應(yīng)用例5

在上述應(yīng)用例所涉及的角速度檢測電路中，也可以采用如下方式，即，所述修正信號生成部包括對所述修正信號的振幅進行調(diào)節(jié)的振幅調(diào)節(jié)部。

根據(jù)本應(yīng)用例所涉及的角速度檢測電路，通過生成由振幅調(diào)節(jié)部對振幅進行了調(diào)節(jié)的修正信號而在差動放大部的輸出信號中使泄漏信號進一步衰減，因此，其結(jié)果為，能夠進一步提高角速度信號的S/N。

應(yīng)用例6