[實用新型]介電質膜高反射鏡

有效

• 申請號: 202222874482.6
• 申請日: 2022-10-28
• 公開（公告）號: CN218728130U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 吳茂;楊建文
• 申請（專利權）人: 伯恩光學（惠州）有限公司
• 主分類號: G02B5/08
• 分類號: G02B5/08;G02B1/10
• 代理公司: 深圳市順天達專利商標代理有限公司 44217
• 代理人: 秦冬梅;郭偉剛

本實用新型涉及光學薄膜技術領域，具體公開了一種介電質膜高反射鏡，包括基底及堆疊設置在基底上并包括交替堆疊設置的若干全介電質低折射率膜層和若干全介電質高折射率膜層的反射膜，全介電質低折射率膜層的折射率小于1.55，全介電質高折射率膜層的折射率大于2，單個全介電質低折射率膜層和單個全介電質高折射率膜層的厚度分別為2?200nm，反射膜的厚度為1300?3000nm。上述介電質膜高反射鏡采用介電質低折射率膜層和介電質高折射率膜層交替堆疊設置，光束在各膜層界面反射回前表層的光產生相長干涉，反射率提高；各膜層均由全介電質材料成型，不含單質金屬層，避免了氧化和受潮問題，延長了介電質膜高反射鏡的使用壽命。

技術領域

本實用新型涉及光學薄膜技術領域，特別是涉及一種反射率高且不易氧化受潮的介電質膜高反射鏡。

背景技術

高反射鏡是通過在基底材料上鍍設高反射膜，來提高鏡面反射率的鏡子，其中，高反射膜是指具有增加反射功能的光學薄膜，主要包括金屬反射膜和全電介質反射膜，或兩者結合起來的金屬電介質反射膜。傳統的高反射鏡通常采用銀、鋁等金屬材料真空蒸發或濺射而成，這類采用銀、鋁等金屬膜制成的高反射鏡，主要依賴于金屬本征的反射光澤，反射率難以進一提升；且金屬膜層在使用過程中容易氧化，或受潮而導致光譜反射率下降，使得光學器件使用壽命及可靠性不足。

實用新型內容

基于此，有必要針對上述不足，提供一種反射率高且不易氧化受潮的介電質膜高反射鏡。

一種介電質膜高反射鏡，包括基底以及堆疊設置在基底上的反射膜，所述反射膜包括交替堆疊設置在基底上的若干全介電質低折射率膜層和若干全介電質高折射率膜層，所述全介電質低折射率膜層的折射率小于1.55，所述全介電質高折射率膜層的折射率大于2，單個全介電質低折射率膜層和單個全介電質高折射率膜層的厚度分別為2-200nm，所述反射膜的厚度為1300-3000nm。

在其中一個實施例中，所述基底由玻璃或塑膠或陶瓷材料制成。

在其中一個實施例中，全介電質低折射率膜層和全介電質高折射率膜層通過真空氣相沉積法依序堆疊成膜。

在其中一個實施例中，所述全介電質高折射率膜層由TiO₂或Nb₂O₅或Ta₂O₅或ZrO₂材料制成。

在其中一個實施例中，所述全介電質低折射率膜層由SiO₂或MgF₂材料制成。

在其中一個實施例中，所述介電質膜高反射鏡的反射率大于98％。

實施本實用新型的介電質膜高反射鏡，采用若干全介電質低折射率膜層和若干全介電質高折射率膜層交替堆疊設置，形成反射膜，光束在各膜層界面反射回前表層的光產生相長干涉，相較于金屬膜，本介電質膜高反射鏡的反射率提高；各膜層均由全介電質材料成型，不含單質金屬層，避免了因單質金屬層存在的情況下氧化和受潮問題，在提升反射率的同時，不易氧化及受潮，有利于延長介電質膜高反射鏡的使用壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型的一個實施例中介電質膜高反射鏡的結構示意圖；

圖2為本實用新型的一個實施例中介電質膜高反射鏡的反射原理圖；

圖3為本實用新型的一個實施例中介電質膜高反射鏡的反射光譜圖。

具體實施方式

為使本實用新型的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節以便于充分理解本實用新型。但是本實用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本實用新型內涵的情況下做類似改進，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。