[實(shí)用新型]壓力傳感器和壓力檢測組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222797417.8
• 申請日: 2022-10-24
• 公開（公告）號: CN218628764U
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂有棟;鄒來福;謝衛(wèi)軍;阮凱文
• 申請（專利權(quán)）人: 精量電子（深圳）有限公司;精量電子公司
• 主分類號: G01L11/00
• 分類號: G01L11/00;G01L19/00
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 殷澄

1.一種壓力傳感器，其特征在于，包括：

金屬支撐件(17)；

絕緣層(16)，形成在所述金屬支撐件(17)的頂面上；

第一金屬層(15)，形成在所述絕緣層(16)的頂面上；

壓力檢測芯片(10)，包括本體(12)和形成在所述本體(12)的底面上的第二金屬層(13)；和

焊料(14)，設(shè)置在所述第一金屬層(15)和所述第二金屬層(13)之間，

所述第一金屬層(15)和所述第二金屬層(13)通過所述焊料(14)被焊接在一起。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述絕緣層(16)包括單個絕緣層，所述單個絕緣層的底面結(jié)合到所述金屬支撐件(17)的頂面上，所述單個絕緣層的頂面結(jié)合到所述第一金屬層(15)的底面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述絕緣層(16)包括上下層疊的多個絕緣層，所述多個絕緣層中的最底部的一個絕緣層的底面結(jié)合到所述金屬支撐件(17)的頂面上，所述多個絕緣層中的最頂部的一個絕緣層的頂面結(jié)合到所述第一金屬層(15)的底面上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述多個絕緣層由相同或不同的絕緣材料形成，并且所述多個絕緣層的厚度彼此相同或不同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述絕緣層(16)和所述金屬支撐件(17)的熱膨脹系數(shù)相同或相近。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述第一金屬層(15)包括單個金屬層，所述單個金屬層的底面結(jié)合到所述絕緣層(16)的頂面上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述第一金屬層(15)包括上下層疊的多個不同金屬層，所述多個不同金屬層中的最底部的一個金屬層(15b)的底面結(jié)合到所述絕緣層(16)的頂面上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述第一金屬層(15)和所述焊料(14)被共晶焊接在一起，使得兩者共晶結(jié)合；和/或

所述第二金屬層(13)和所述焊料(14)被共晶焊接在一起，使得兩者共晶結(jié)合。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述絕緣層(16)通過絲網(wǎng)印刷工藝被印刷到所述金屬支撐件(17)的頂面上并通過加熱被燒結(jié)到所述金屬支撐件(17)上。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述第一金屬層(15)通過絲網(wǎng)印刷工藝被印刷到所述絕緣層(16)的頂面上并通過加熱被燒結(jié)到所述絕緣層(16)上。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述第二金屬層(13)通過絲網(wǎng)印刷工藝被印刷到所述本體(12)的底面上并與所述本體(12)共晶焊接在一起。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

在所述本體(12)上形成有底部開放的盲孔(120)，所述盲孔(120)的頂壁為能夠彈性變形的薄壁部(12a)；

在所述金屬支撐件(17)、所述絕緣層(16)、所述第一金屬層(15)、所述焊料(14)和所述第二金屬層(13)上分別形成有通孔；

所述金屬支撐件(17)、所述絕緣層(16)、所述第一金屬層(15)、所述焊料(14)和所述第二金屬層(13)上的通孔彼此連通，以形成與所述盲孔(120)連通的壓力檢測通路(1a)。