[實用新型]具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置

有效

• 申請號: 202222752587.4
• 申請日: 2022-10-19
• 公開（公告）號: CN218726710U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 劉康;劉淑琳
• 申請（專利權）人: 蘇州矽行半導體技術有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/13;G01N21/01;H01L21/66
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 劉煜

本實用新型提供一種具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，屬于晶圓檢測領域，該運動裝置包括基臺、第一運動模組、第二運動模組、第三運動模組、第四運動模組和載臺。載臺表面用于放置晶圓，所述載臺與所述旋轉件連接，所述晶圓在所述第一驅動件、第二驅動件和第四驅動件的驅動力下分別沿第一方向、第二方向和第三方向做往復運動，以及在所述第三驅動件的驅動力下做旋轉運動。根據本實用新型的運動裝置利用無摩擦支撐和無摩擦驅動的氣浮導軌以避免因為摩擦和間隙導致的非線性擾動因素的存在，提高晶圓的運動精度與穩定性。

技術領域

本實用新型涉及一種晶圓檢測領域，尤其涉及具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置。

背景技術

半導體行業因為工藝復雜、工序繁多、器件尺寸小等特點，極容易導致晶圓在生產過程中出現缺陷。這些缺陷不僅會嚴重影響芯片性能，還會造成成本增加。因此，在半導體生產的各個流程中，檢測環節都是至關重要的。在高通量顯微光學系統中，物鏡視場遠小于晶圓面積，因此高分辨率的晶圓圖像需要TD I相機掃碼拼接而成。TD I相機成像過程中，運動臺沿掃描方向帶動晶圓進行運動，而晶圓在運動過程中產生的抖動嚴重影響檢測精度。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案：

根據本實用新型實施例的具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，所述運動裝置包括：

基臺；

第一運動模組，所述第一運動模組包括第一氣浮滑軌、第一氣浮滑塊和第一驅動件，所述第一氣浮滑軌與第一驅動件安裝于所述基臺，所述第一氣浮滑軌與第一氣浮滑塊滑動連接；

第二運動模組，所述第二運動模組包括第二氣浮滑軌、第二氣浮滑塊和第二驅動件，所述第二氣浮滑軌與第二驅動件與所述第一氣浮滑塊固定連接，所述第二氣浮滑軌與第二氣浮滑塊滑動連接；

第三運動模組，所述第三運動模組包括第三驅動件與旋轉件，所述旋轉件連接所述第三驅動件，所述第三驅動件安裝于所述第二氣浮滑塊；

第四運動模組，所述第四運動模組包括第四驅動件與升降件，所述第四驅動件與所述第二氣浮滑塊連接，所述升降件與所述第四驅動件連接；

載臺，其表面用于放置晶圓，所述載臺與所述旋轉件連接，所述晶圓在所述第一驅動件、第二驅動件和第四驅動件的驅動力下分別沿第一方向、第二方向和第三方向做往復運動，以及在所述第三驅動件的驅動力下做旋轉運動。

進一步的，所述基臺包括第一基臺與第二基臺，所述第一基臺與第二基臺平行設置，兩個所述第一氣浮滑軌安裝于所述第一基臺與第二基臺的內側壁上。

進一步的，所述運動裝置還包括：

兩個緩沖件，兩個所述緩沖件分別連接于兩個所述第一氣浮滑塊上，兩個第一氣浮滑塊分別位于所述第二氣浮滑軌的兩末端。

進一步的，所述基臺為大理石材質。

進一步的，所述第三驅動件為旋轉電機。

進一步的，所述載臺上設有多個通孔，多個所述升降件在多個所述通孔內做升降運動，以抬升或降低位于所述載臺表面的晶圓。

進一步的，多個所述通孔均勻分布于所述載臺的中心位置處。

本實用新型的上述技術方案至少具有如下有益效果之一：

本實用新型公開的具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，該運動裝置利用無摩擦支撐和無摩擦驅動的氣浮導軌以避免因為摩擦和間隙導致的非線性擾動因素的存在，提高晶圓的運動精度與穩定性。

附圖說明