[實用新型]具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置

有效

• 申請號: 202222752587.4
• 申請日: 2022-10-19
• 公開（公告）號: CN218726710U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 劉康;劉淑琳
• 申請（專利權）人: 蘇州矽行半導體技術有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/13;G01N21/01;H01L21/66
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 劉煜

1.一種具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，其特征在于，所述運動裝置包括：

基臺(30)；

第一運動模組，所述第一運動模組包括第一氣浮滑軌(311)、第一氣浮滑塊(312)和第一驅動件，所述第一氣浮滑軌(311)與第一驅動件安裝于所述基臺(30)，所述第一氣浮滑軌(311)與第一氣浮滑塊(312)滑動連接；

第二運動模組，所述第二運動模組包括第二氣浮滑軌(321)、第二氣浮滑塊(322)和第二驅動件，所述第二氣浮滑軌(321)與第二驅動件與所述第一氣浮滑塊(312)固定連接，所述第二氣浮滑軌(321)與第二氣浮滑塊(322)滑動連接；

第三運動模組，所述第三運動模組包括第三驅動件與旋轉件，所述旋轉件連接所述第三驅動件，所述第三驅動件安裝于所述第二氣浮滑塊(322)；

第四運動模組，所述第四運動模組包括第四驅動件與升降件，所述第四驅動件與所述第二氣浮滑塊(322)連接，所述升降件與所述第四驅動件連接；

載臺(33)，其表面用于放置晶圓，所述載臺(33)與所述旋轉件連接，所述晶圓在所述第一驅動件、第二驅動件和第四驅動件的驅動力下分別沿第一方向、第二方向和第三方向做往復運動，以及在所述第三驅動件的驅動力下做旋轉運動。

2.如權利要求1所述的具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，其特征在于，所述基臺(30)包括第一基臺(301)與第二基臺(302)，所述第一基臺(301)與第二基臺(302)平行設置，兩個所述第一氣浮滑軌(311)安裝于所述第一基臺(301)與第二基臺(302)的內側壁上。

3.如權利要求2所述的具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，其特征在于，所述運動裝置還包括：

兩個緩沖件(34)，兩個所述緩沖件(34)分別連接于兩個所述第一氣浮滑塊(312)上，兩個第一氣浮滑塊(312)分別位于所述第二氣浮滑軌(321)的兩末端。

4.如權利要求1所述的具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，其特征在于，所述基臺(30)為大理石材質。

5.如權利要求1所述的具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，其特征在于，所述第三驅動件為旋轉電機。

6.如權利要求1所述的具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，其特征在于，所述載臺(33)上設有多個通孔，多個所述升降件在多個所述通孔內做升降運動，以抬升或降低位于所述載臺(33)表面的晶圓。

7.如權利要求6所述的具有高精度的用于半導體表面檢測的運動裝置，其特征在于，多個所述通孔均勻分布于所述載臺(33)的中心位置處。