[實用新型]芯片頂針模組自動切換機構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202222733125.8 | 申請日: | 2022-10-17 |
| 公開(公告)號: | CN218568814U | 公開(公告)日: | 2023-03-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 文衛(wèi)朋;付江波;戚飛耀;楊曉;孟健 | 申請(專利權(quán))人: | 博眾精工科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司: | 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 韓臻臻 |
| 地址: | 215299 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 芯片 頂針 模組 自動 切換 機構(gòu) | ||
本實用新型提供一種芯片頂針模組自動切換機構(gòu),包括有旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)上的若干頂針模組、用于頂起頂針模組的頂升結(jié)構(gòu)以及驅(qū)動所述頂升結(jié)構(gòu)移動的Z軸驅(qū)動組件,所述Z軸驅(qū)動組件包括有曲柄以及向所述曲柄傳遞動力的Z軸電機;所述Z軸電機驅(qū)動曲柄轉(zhuǎn)動,同步帶動所述頂升結(jié)構(gòu)頂升所述頂針模組。設(shè)置若干頂針模組,每組頂針模組中所設(shè)置的頂針數(shù)量,對應(yīng)的芯片尺寸均不相同,根據(jù)需要頂起的芯片的尺寸,驅(qū)動旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)使得對應(yīng)的頂針模組位于芯片的下方,頂升結(jié)構(gòu)的上方,驅(qū)動Z軸驅(qū)動組件,帶動所述頂升結(jié)構(gòu)移動,并驅(qū)動頂針模組。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種芯片頂針模組自動切換機構(gòu)。
背景技術(shù)
在半導(dǎo)體封裝機運行時,在貼片工藝中需要將藍(lán)膜吸住固定,利用頂針機構(gòu)驅(qū)動頂針向上升起,并將芯片從藍(lán)膜上頂起。隨后頂針升起,將芯片從藍(lán)膜上脫離,便于抓取頭將抓取芯片。
在芯片貼裝設(shè)備上,通過自動更換晶圓環(huán)種類或上料臺直接切換的方式可將不同尺寸規(guī)格的芯片自動在設(shè)備上進(jìn)行切換生產(chǎn),芯片在吸取時需要頂針進(jìn)行頂升脫膜,不同規(guī)格的芯片切換作業(yè)時需切換不同的頂針組件。
因此,目前需要研發(fā)出一種根據(jù)不同尺寸的芯片切換適宜的頂針模組,并根據(jù)實際需求改變頂針模組的數(shù)量的芯片頂針模組自動切換機構(gòu)。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是為了解決上述問題,提供一種芯片頂針模組自動切換機構(gòu)。
為完成上述實用新型目的,本實用新型提供一種芯片頂針模組自動切換機構(gòu),包括有旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)上的若干頂針模組、用于頂起頂針模組的頂升結(jié)構(gòu)以及驅(qū)動所述頂升結(jié)構(gòu)移動的Z軸驅(qū)動組件,所述Z軸驅(qū)動組件包括有曲柄以及向所述曲柄傳遞動力的Z軸電機;所述Z軸電機驅(qū)動曲柄轉(zhuǎn)動,同步帶動所述頂升結(jié)構(gòu)頂升所述頂針模組。
進(jìn)一步具體的,若干所述頂針模組均勻設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)上。
進(jìn)一步具體的,所述頂針模組包括有頂針、用于夾持所述頂針的頂針夾頭、用于給頂針導(dǎo)向的頂針導(dǎo)向柱、套設(shè)在所述頂針導(dǎo)向柱外側(cè)的壓縮彈簧、套設(shè)在所述頂針導(dǎo)向柱外側(cè)的頂針固定座、設(shè)置在所述頂針固定座上的頂帽固定座、設(shè)置在所述頂帽固定座上的頂帽以及用于固定在旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)上的導(dǎo)向塊。
進(jìn)一步具體的,所述頂升結(jié)構(gòu)包括有設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)上的滑軌、與所述滑軌配合設(shè)置的滑塊、設(shè)置在所述滑塊上的支撐座,所述支撐座頂升所述頂針模組。
進(jìn)一步具體的,在所述支撐座下方設(shè)置有電缸,所述電缸的運動端穿過所述支撐座驅(qū)動所述頂針移動。
進(jìn)一步具體的,在所述頂針固定座的底部設(shè)置有磁鐵,與支撐座牢靠吸附。
進(jìn)一步具體的,在所述頂針固定座上開設(shè)有銷孔,在所述支撐座上設(shè)置有與所述銷孔配合的定位銷。
進(jìn)一步具體的,所述頂帽、頂帽固定座以及頂針固定座形成真空腔體。
進(jìn)一步具體的,在所述支撐座上設(shè)置有真空吸盤,所述真空腔體和真空吸盤連通。
進(jìn)一步具體的,在所述連接塊上設(shè)置有感應(yīng)片,在所述Z軸電機上設(shè)置有限位開關(guān),在所述限位開關(guān)感應(yīng)到所述感應(yīng)片時,所述頂升結(jié)構(gòu)復(fù)位。
本實用新型芯片頂針模組自動切換機構(gòu),可實現(xiàn)如下技術(shù)效果,設(shè)置若干頂針模組,每組頂針模組中所設(shè)置的頂針數(shù)量,對應(yīng)的芯片尺寸均不相同,根據(jù)需要頂起的芯片的尺寸,驅(qū)動旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)使得對應(yīng)的頂針模組位于芯片的下方,頂升結(jié)構(gòu)的上方,驅(qū)動Z軸驅(qū)動組件,帶動所述頂升結(jié)構(gòu)移動,并驅(qū)動頂針模組。
附圖說明
下面將參考附圖對本申請的示例性實施例進(jìn)行詳細(xì)說明,應(yīng)當(dāng)理解,下面描述的實施例僅用于解釋本申請,而不對本申請的范圍作出限制,所附附圖中:
圖1是本實用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖;
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





