[實用新型]一種新型離子源控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222674203.1
• 申請日: 2022-10-11
• 公開（公告）號: CN218213851U
• 公開（公告）日: 2023-01-03
• 發(fā)明（設計）人: 葉圣雙
• 申請（專利權）人: 合肥獨領智能科技有限公司
• 主分類號: G05B19/042
• 分類號: G05B19/042
• 代理公司: 安徽天禾律師事務所 34225
• 代理人: 張凱

1.一種新型離子源控制系統(tǒng)，其特征在于，包括真空腔體(Q1)、燈絲(S1)以及電源控制模塊；所述真空腔體(Q1)的空間區(qū)域連接有用于控制通入氧氣流量的調(diào)節(jié)閥(T1)，所述燈絲(S1)安裝在真空腔體(Q1)中且與所述電源控制模塊連接，所述真空腔體(Q1)的空間區(qū)域中還安裝有連接電源控制模塊的正極板(K1)和負極板(K2)，所述正極板(K1)和負極板(K2)之間形成電場；所述燈絲(S1)用于在空間區(qū)域產(chǎn)生發(fā)射電子，與空間區(qū)域內(nèi)碰撞氧氣的氣體分子，在所述正極板(K1)和負極板(K2)之間電場作用下氧氣電離產(chǎn)生離子源。

2.根據(jù)權利要求1所述的新型離子源控制系統(tǒng)，其特征在于，所述真空腔體(Q1)通過管道連接有真空泵(Z1)，用于對真空腔體(Q1)進行抽真空，所述真空腔體(Q1)的空間區(qū)域內(nèi)真空度介于10^-3～10^-4次方Pa量級之間。

3.根據(jù)權利要求2所述的新型離子源控制系統(tǒng)，其特征在于，所述真空腔體(Q1)上垂直安裝在有用于采集真空腔體(Q1)內(nèi)真空度的真空計(P1)。

4.根據(jù)權利要求1所述的新型離子源控制系統(tǒng)，其特征在于，所述正極板(K1)和負極板(K2)相互平行分布于所述真空腔體(Q1)的空間區(qū)域內(nèi)，所述燈絲(S1)位于所述正極板(K1)和負極板(K2)之間電場與調(diào)節(jié)閥(T1)之間的空間區(qū)域中。

5.根據(jù)權利要求4所述的新型離子源控制系統(tǒng)，其特征在于，所述燈絲(S1)位于所述調(diào)節(jié)閥(T1)的氧氣通入口位置。

6.根據(jù)權利要求4所述的新型離子源控制系統(tǒng)，其特征在于，所述電源控制模塊還連接有取樣電阻(R1)，所述取樣電阻(R1)用于根據(jù)得到的電流來控制陽極電源(V1)產(chǎn)生的電壓，以控制離子源的產(chǎn)生。

7.根據(jù)權利要求6所述的新型離子源控制系統(tǒng)，其特征在于，所述取樣電阻(R1)為阻值固定的低溫漂電阻，所述取樣電阻(R1)連接有電壓傳感器以及A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器，用于通過電壓傳感器以及A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器測量得到電壓后，計算得到通過電阻(R1)的電流，再根據(jù)電流來控制電源的輸出。