[實用新型]一種高智能化氣體分閥箱

有效

• 申請號: 202222522941.4
• 申請日: 2022-09-23
• 公開（公告）號: CN218152587U
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 胡玉超;宋吉慶;李群
• 申請（專利權）人: 江蘇源一工程科技有限公司
• 主分類號: F16K27/12
• 分類號: F16K27/12;F16K37/00;E05C19/16
• 代理公司: 蘇州視界專利代理事務所(普通合伙) 32684
• 代理人: 董燕

為了解決現有的氣體分閥箱箱門通常使用傳統的門鎖進行關閉，難以保障箱門高效閉合，同時氣體分閥箱出現故障時，使用傳統門鎖的箱門不能便捷的開合，不利于工人高效的對箱體內的出故障的機構進行維修的問題，本實用新型為一種高智能化氣體分閥箱，分閥箱本體前側鉸接有箱門，用于箱門控制分閥箱本體開閉，分閥箱側邊設有第一磁吸安裝口，第一磁吸安裝口內設有第一磁吸機構，箱門內壁左部設有第二磁吸機構，第二磁吸機構與第一磁吸機構位置對應，當箱門關閉時，通過第一磁吸機構與第二磁吸機構相互吸附，快捷方便的開閉箱門，同時電磁鎖與控制面板電性連接，輔助控制箱門與分閥箱本體閉合。

技術領域

本實用新型涉及半導體行業氣體輸送系統的常用設備技術領域，較為具體的，涉及到一種高智能化氣體分閥箱。

背景技術

在現代工業及高新科技的發展中，幾乎所有的智能器件都離不開半導體，而半導體的加工包括像金屬、介電和半導體材料的化學氣相沉積(CVD)這樣的沉積處理，表面層的蝕刻，光刻膠掩膜層的拋光等等。在半導體的這些加工過程中，需要用到大量氣體進行反應，需要引入多種氣體，這些氣體各自通過氣體分閥箱(Valve Manifold Box，VMB)來進行分流輸送。VMB是一種內嵌多支分發管與排氣管，實現高純氣體或或者液體分流的閥門箱。

現有的氣體分閥箱箱門通常使用傳統的門鎖進行關閉，難以保障箱門高效閉合，同時氣體分閥箱出現故障時，使用傳統門鎖的箱門不能便捷的開合，不利于工人高效的對箱體內的出故障的機構進行維修。

有鑒于此，本實用新型提出一種結構簡單、便捷開合的，一種高智能化氣體分閥箱。

實用新型內容

有鑒于此，為了解決現有的氣體分閥箱箱門通常使用傳統的門鎖進行關閉，難以保障箱門高效閉合，同時氣體分閥箱出現故障時，使用傳統門鎖的箱門不能便捷的開合，不利于工人高效的對箱體內的出故障的機構進行維修的問題，本實用新型提出一種高智能化氣體分閥箱，分閥箱本體1前側鉸接有箱門2，用于箱門控制分閥箱本體1開閉，分閥箱側邊設有第一磁吸安裝口，第一磁吸安裝口內設有第一磁吸機構3，箱門2內壁左部設有第二磁吸機構4，第二磁吸機構4與第一磁吸機構3位置對應，當箱門2關閉時，通過第一磁吸機構3與第二磁吸機構4相互吸附，快捷方便的開閉箱門，同時電磁鎖15與控制面板6電性連接，輔助控制箱門2與分閥箱本體1閉合。

一種高智能化氣體分閥箱,包括分閥箱本體1，其特征在于：分閥箱本體1前側鉸接有箱門2，用于控制分閥箱本體1開閉，分閥箱側邊設有第一磁吸安裝口，第一磁吸安裝口內設有第一磁吸機構3，箱門2內壁左部設有第二磁吸機構4，第二磁吸機構4與第一磁吸機構3位置對應，當箱門2關閉時，第一磁吸機構3與第二磁吸機構4相互吸附。

在本實用新型較佳的實施例中，分閥箱腔體底部與箱門2對應連接處還連接有密封條5，用于輔助密封分閥箱本體1。

進一步的，第一磁吸機構3、第二磁吸機構4內均設有磁鐵。

在本實用新型較佳的實施例中，分閥箱本體1內設有腔體，腔體的一表面設有管道固定面板，管道固定面板上設有分閥氣體輸送機構，用于對輸入的氣體進行分閥監測并再輸送。

進一步的，箱門2上設有控制面板6，分閥氣體輸送機構與控制面板6電性連接，用于控制分閥氣體輸送機構開關。

進一步的，第一磁吸機構3下方設有電磁鎖15，電磁鎖15與控制面板6電性連接，用于輔助控制箱門2與分閥箱本體1閉合。

進一步的，所述箱門2上還連接有按壓式隱藏把手14，按壓后彈出，便于拉開箱門2。

在本實用新型較佳的實施例中，分閥箱本體1上方設有輸氣口7，輸氣口7與分閥氣體輸送機構輸出端通過管道連接，用于輸出氣體；分閥箱本體1側邊設有抽氣孔8，抽氣孔8出設有抽真空器，抽真空器與分閥氣體輸送機構通過管道連接，用于對分閥氣體輸送機構進行抽真空；抽氣孔8下方設有進氣口9，進氣口9與分閥氣體輸送機構輸入端通過管道連接，用于接收外部輸入的氣體。