[實用新型]一種勻膠顯影機硅片烘干裝置

有效

• 申請號: 202222507692.1
• 申請日: 2022-09-22
• 公開（公告）號: CN218120371U
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 吳想;葉誠
• 申請（專利權）人: 江西維易科半導體科技有限公司;江西維易爾半導體設備有限公司
• 主分類號: F26B3/30
• 分類號: F26B3/30;F26B11/18;F26B25/00;F26B25/18
• 代理公司: 泉州企記知識產權代理事務所(普通合伙) 35264
• 代理人: 張柳

1.一種勻膠顯影機硅片烘干裝置，包括有殼體(1)、伺服電機(2)和連接軸(3)，殼體(1)內下部安裝有伺服電機(2)，伺服電機(2)的輸出軸上連接有連接軸(3)，其特征是，還包括有承托盤(4)、支撐架(5)、安裝架(6)、遮光板(7)、紅外遠光發射燈珠(8)和烘干防護機構(9)，連接軸(3)上滑動式設有用于放置硅片的承托盤(4)，連接軸(3)能夠帶動承托盤(4)轉動，殼體(1)頂部連接有支撐架(5)，支撐架(5)頂部連接有安裝架(6)，安裝架(6)內側連接有遮光板(7)，遮光板(7)底部連接有用于對硅片進行烘干的紅外遠光發射燈珠(8)，殼體(1)上設有用于對硅片進行防護的烘干防護機構(9)。

2.按照權利要求1所述的一種勻膠顯影機硅片烘干裝置，其特征是，烘干防護機構(9)包括有第一電動推桿(90)、載物板(91)和防護玻璃(92)，殼體(1)頂部均勻間隔的連接有第一電動推桿(90)，第一電動推桿(90)的伸縮桿之間連接有載物板(91)，載物板(91)位于支撐架(5)的外側，載物板(91)頂部連接有防護玻璃(92)。

3.按照權利要求2所述的一種勻膠顯影機硅片烘干裝置，其特征是，還包括有防誤觸玻璃(11)，殼體(1)上部外側連接有防誤觸玻璃(11)。

4.按照權利要求3所述的一種勻膠顯影機硅片烘干裝置，其特征是，還包括有第二電動推桿(12)，殼體(1)頂部連接有第二電動推桿(12)，第二電動推桿(12)的伸縮桿和承托盤(4)接觸。

5.按照權利要求4所述的一種勻膠顯影機硅片烘干裝置，其特征是，還包括有安裝板(13)，殼體(1)內側連接有安裝板(13)，安裝板(13)和伺服電機(2)連接。

6.按照權利要求5所述的一種勻膠顯影機硅片烘干裝置，其特征是，還包括有限位盤(14)，殼體(1)頂部連接有限位盤(14)，限位盤(14)和載物板(91)接觸。