[實用新型]狹小環境下析晶清理裝置有效
| 申請號: | 202222363844.5 | 申請日: | 2022-09-06 |
| 公開(公告)號: | CN217781012U | 公開(公告)日: | 2022-11-11 |
| 發明(設計)人: | 倫江宇;張云曉;郭秉漩;郭佳浩;李皓;譚博文 | 申請(專利權)人: | 青島融合光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C03B5/16 | 分類號: | C03B5/16 |
| 代理公司: | 青島發思特專利商標代理有限公司 37212 | 代理人: | 張灑灑 |
| 地址: | 266000 山東省青*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 狹小 環境 下析晶 清理 裝置 | ||
1.一種狹小環境下析晶清理裝置,其特征在于,包括吸取部,吸取部連通儲晶盒(3),吸取部包括吸筒(1)和吸頭(2),吸頭(2)的末端開口(4)部分側壁延伸并向內側折彎形成刮板(5),儲晶盒(3)連通真空動力裝置(7)。
2.根據權利要求1所述的狹小環境下析晶清理裝置,其特征在于,吸取部和儲晶盒(3)之間以及吸筒(1)和吸頭(2)之間分別為拆卸連接。
3.根據權利要求2所述的狹小環境下析晶清理裝置,其特征在于,拆卸連接方式為卡扣連接。
4.根據權利要求1所述的狹小環境下析晶清理裝置,其特征在于,儲晶盒(3)內設有過濾器(6)。
5.根據權利要求1所述的狹小環境下析晶清理裝置,其特征在于,儲晶盒(3)和真空動力裝置(7)之間設有負壓罐(8),負壓罐(8)上設有真空表(9)。
6.根據權利要求5所述的狹小環境下析晶清理裝置,其特征在于,儲晶盒(3)和負壓罐(8)之間設有真空閥(10)。
7.根據權利要求1所述的狹小環境下析晶清理裝置,其特征在于,儲晶盒(3)連通空壓機(11)。
8.根據權利要求7所述的狹小環境下析晶清理裝置,其特征在于,儲晶盒(3)和空壓機(11)之間設有儲氣罐(12),儲氣罐(12)上設有壓力表(13)。
9.根據權利要求8所述的狹小環境下析晶清理裝置,其特征在于,儲晶盒(3)和儲氣罐(12)之間設有壓力閥(14)。
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