[實(shí)用新型]一種自動(dòng)化半導(dǎo)體芯片光刻機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222209359.2
• 申請(qǐng)日: 2022-08-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218122467U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王關(guān)建
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 山東國(guó)太集成電路有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種自動(dòng)化半導(dǎo)體芯片光刻機(jī)，包括光刻機(jī)本體，所述光刻機(jī)本體的底端設(shè)有若干個(gè)支撐柱，所述光刻機(jī)本體的底端設(shè)有一對(duì)連接座，兩個(gè)所述連接座之間設(shè)有一對(duì)連接軸，其中一個(gè)所述連接軸表面設(shè)有螺紋，其中一個(gè)所述連接座的外壁設(shè)有與其中一個(gè)所述連接軸傳動(dòng)連接的電機(jī)一，兩個(gè)所述連接軸均套設(shè)有滑座；有益效果為：通過(guò)在光刻機(jī)的底部設(shè)置連接座、帶有螺紋的連接軸、電機(jī)一、滑座、連接盒、轉(zhuǎn)筒、電機(jī)二、齒輪、外齒圈等，不但可以帶動(dòng)多個(gè)風(fēng)扇左右移動(dòng)，同時(shí)還可以調(diào)節(jié)每個(gè)風(fēng)扇的位置，使得風(fēng)扇不但可以吹地面還可以吹刻光機(jī)的地面，具有散熱和干燥兩種效果，保證光刻機(jī)能夠穩(wěn)定性的運(yùn)行。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)，涉及一種自動(dòng)化半導(dǎo)體芯片光刻機(jī)。

背景技術(shù)

光刻機(jī)又稱(chēng)掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等，是制造半導(dǎo)體芯片的核心裝置。光刻機(jī)采用類(lèi)似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。同時(shí)，光刻機(jī)根據(jù)操作的簡(jiǎn)便性分為三種，手動(dòng)、半自動(dòng)以及全自動(dòng)。

在陰雨天氣時(shí)，室內(nèi)會(huì)產(chǎn)生一定的潮濕，目前的自動(dòng)化半導(dǎo)體芯片光刻機(jī)體積較大，且與地面間隙較小，自動(dòng)化半導(dǎo)體芯片光刻機(jī)的底部潮濕較為嚴(yán)重，使得光刻機(jī)的底部外殼會(huì)出現(xiàn)生銹腐爛現(xiàn)象。

針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問(wèn)題，目前尚未提出有效的解決方案。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種自動(dòng)化半導(dǎo)體芯片光刻機(jī)，以克服現(xiàn)有相關(guān)技術(shù)所存在的上述技術(shù)問(wèn)題。

為此，本實(shí)用新型采用的具體技術(shù)方案如下：

一種自動(dòng)化半導(dǎo)體芯片光刻機(jī)，包括光刻機(jī)本體，所述光刻機(jī)本體的底端設(shè)有若干個(gè)支撐柱，所述光刻機(jī)本體的底端設(shè)有一對(duì)連接座，兩個(gè)所述連接座之間設(shè)有一對(duì)連接軸，其中一個(gè)所述連接軸表面設(shè)有螺紋，其中一個(gè)所述連接座的外壁設(shè)有與其中一個(gè)所述連接軸傳動(dòng)連接的電機(jī)一，兩個(gè)所述連接軸均套設(shè)有滑座，兩個(gè)所述滑座之間連接有一對(duì)連接桿，兩個(gè)所述滑座的正面均設(shè)有通槽，兩個(gè)所述通槽內(nèi)的底端均設(shè)有限位座，兩個(gè)所述限位座上均設(shè)有與其相匹配的連接盒，每個(gè)所述連接盒的頂端均設(shè)有卡槽，每個(gè)所述滑座的頂端均設(shè)有與所述卡槽相匹配的連接機(jī)構(gòu)，其中一個(gè)所述連接座的頂端設(shè)有一對(duì)推桿，兩個(gè)所述連接盒連接有轉(zhuǎn)筒，且所述轉(zhuǎn)筒貫穿兩個(gè)所述連接盒，所述轉(zhuǎn)筒的底端設(shè)有若干個(gè)風(fēng)扇，且兩個(gè)所述連接盒9之間固定連接有一對(duì)固定桿。

優(yōu)選的，所述連接機(jī)構(gòu)包括位于所述通槽內(nèi)部頂端的限位凹槽，所述限位凹槽上設(shè)有與所述卡槽相匹配的卡塊，所述卡塊的頂端設(shè)有延伸至所述滑座上方的螺紋旋桿，且所述螺紋旋桿的底端與所述卡塊的頂端活動(dòng)連接，所述螺紋旋桿的頂端設(shè)有與所述推桿相匹配的凸條，所述滑座的頂端設(shè)有伸縮桿，所述伸縮桿的頂端設(shè)有貫穿至所述凸條上方的凸柱，所述伸縮桿繞有彈簧，且所述彈簧的兩端分別與所述凸柱以及所述伸縮桿相連接。

優(yōu)選的，所述伸縮桿為弧形結(jié)構(gòu)，且所述伸縮桿與所述螺紋旋桿為同一軸心。

優(yōu)選的，后端其中一個(gè)所述支撐柱的一側(cè)設(shè)有定位擋片，所述定位擋片上設(shè)有通孔，所述轉(zhuǎn)筒的后端設(shè)有與所述通孔相匹配的伸縮插桿。

優(yōu)選的，其中一個(gè)所述連接盒的內(nèi)壁安裝有電機(jī)二，所述電機(jī)二的正面設(shè)有齒輪，所述齒輪的側(cè)壁設(shè)有與其相嚙合的外齒圈，且所述外齒圈固定套在所述轉(zhuǎn)筒上。

優(yōu)選的，其中一個(gè)所述連接盒的內(nèi)壁安裝有電池一，所述轉(zhuǎn)筒的前端設(shè)有充電接口，所述轉(zhuǎn)筒上設(shè)有開(kāi)口，所述電池一上設(shè)有導(dǎo)線，且所述導(dǎo)線與每個(gè)所述風(fēng)扇、所述電機(jī)二、所述充電接口均為電性連接。

優(yōu)選的，其中一個(gè)所述連接座的外壁設(shè)有電池二，且所述電池二與所述電機(jī)一為電性連接。

本實(shí)用新型的有益效果為：