[實用新型]一種自動化半導體芯片光刻機

有效

• 申請號: 202222209359.2
• 申請日: 2022-08-22
• 公開（公告）號: CN218122467U
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 王關建
• 申請（專利權）人: 山東國太集成電路有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種自動化半導體芯片光刻機，其特征在于，包括光刻機本體(1)，所述光刻機本體(1)的底端設有若干個支撐柱(2)，所述光刻機本體(1)的底端設有一對連接座(3)，兩個所述連接座(3)之間設有一對連接軸(4)，其中一個所述連接軸(4)表面設有螺紋，其中一個所述連接座(3)的外壁設有與其中一個所述連接軸(4)傳動連接的電機一(5)，兩個所述連接軸(4)均套設有滑座(6)，兩個所述滑座(6)之間連接有一對連接桿，兩個所述滑座(6)的正面均設有通槽(7)，兩個所述通槽(7)內的底端均設有限位座(8)，兩個所述限位座(8)上均設有與其相匹配的連接盒(9)，每個所述連接盒(9)的頂端均設有卡槽(10)，每個所述滑座(6)的頂端均設有與所述卡槽(10)相匹配的連接機構，其中一個所述連接座(3)的頂端設有一對推桿，兩個所述連接盒(9)連接有轉筒(11)，且所述轉筒(11)貫穿兩個所述連接盒(9)，所述轉筒(11)的底端設有若干個風扇(12)，且兩個所述連接盒(9)之間固定連接有一對固定桿。

2.根據權利要求1所述的一種自動化半導體芯片光刻機，其特征在于，所述連接機構包括位于所述通槽(7)內部頂端的限位凹槽(13)，所述限位凹槽(13)上設有與所述卡槽(10)相匹配的卡塊(14)，所述卡塊(14)的頂端設有延伸至所述滑座(6)上方的螺紋旋桿(15)，且所述螺紋旋桿(15)的底端與所述卡塊(14)的頂端活動連接，所述螺紋旋桿(15)的頂端設有與所述推桿相匹配的凸條(16)，所述滑座(6)的頂端設有伸縮桿(17)，所述伸縮桿(17)的頂端設有貫穿至所述凸條(16)上方的凸柱(18)，所述伸縮桿(17)繞有彈簧(19)，且所述彈簧(19)的兩端分別與所述凸柱(18)以及所述伸縮桿(17)相連接。

3.根據權利要求2所述的一種自動化半導體芯片光刻機，其特征在于，所述伸縮桿(17)為弧形結構，且所述伸縮桿(17)與所述螺紋旋桿(15)為同一軸心。

4.根據權利要求1所述的一種自動化半導體芯片光刻機，其特征在于，后端其中一個所述支撐柱(2)的一側設有定位擋片(20)，所述定位擋片(20)上設有通孔，所述轉筒(11)的后端設有與所述通孔相匹配的伸縮插桿(21)。

5.根據權利要求1所述的一種自動化半導體芯片光刻機，其特征在于，其中一個所述連接盒(9)的內壁安裝有電機二(22)，所述電機二(22)的正面設有齒輪(23)，所述齒輪(23)的側壁設有與其相嚙合的外齒圈(24)，且所述外齒圈(24)固定套在所述轉筒(11)上。

6.根據權利要求5所述的一種自動化半導體芯片光刻機，其特征在于，其中一個所述連接盒(9)的內壁安裝有電池一(25)，所述轉筒(11)的前端設有充電接口(26)，所述轉筒(11)上設有開口(27)，所述電池一(25)上設有導線，且所述導線與每個所述風扇(12)、所述電機二(22)、所述充電接口(26)均為電性連接。

7.根據權利要求1所述的一種自動化半導體芯片光刻機，其特征在于，其中一個所述連接座(3)的外壁設有電池二(28)，且所述電池二(28)與所述電機一(5)為電性連接。