[實用新型]一種靶材切割固定裝置

有效

• 申請號: 202222152996.0
• 申請日: 2022-08-16
• 公開（公告）號: CN218110078U
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 王永超;居炎鵬;李心然;趙澤良;王留土;范振清;史豪杰;鄭海強;楊志剛
• 申請（專利權）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號: B23Q3/08
• 分類號: B23Q3/08
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 劉文麗

本實用新型涉及一種靶材切割固定裝置，包括底座、外框架、托料板、上側夾持機構、側部夾持機構，外框架包括兩相對設置的豎板以及連接兩豎板頂部的頂板，兩托料板相對的上邊沿用于托置靶坯下端；上側夾持機構設置于頂板上，包括上壓板、上活塞缸，上活塞缸的活塞桿用于驅動上壓板對靶坯上端進行頂壓；側部夾持機構設有兩個、用于分別設置在靶坯的水平兩側，包括側活塞缸、側夾板，側夾板用于受到側活塞缸推動作用相對托料板轉動、夾緊靶坯側部。本靶材切割固定裝置能夠解決目前靶材切割裝置夾持機構拆裝速度慢、費時費力的技術問題，具有靶坯拆卸省時省力，靶材切割效率高的特點。

技術領域

本實用新型涉及靶材加工設備技術領域，更具體地說，它涉及一種靶材切割固定裝置。

背景技術

靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。多數靶材加工制造過程中離不開切割作業，一般需要將圓柱狀的靶坯固定好、切成片狀的圓形靶材；目前靶材切割裝置上設置的用于固定靶坯的夾持機構，為滿足不同尺寸靶坯通用性，多為螺紋式可調結構，在拆裝靶坯或調節夾持尺寸時需要重復旋擰螺紋，拆裝速度慢，不僅浪費人力，還導致靶材切割效率低、增加整體加工成本。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種靶材切割固定裝置，能夠解決目前靶材切割裝置夾持機構拆裝速度慢、費時費力的技術問題。

本實用新型提供了如下技術方案：一種靶材切割固定裝置，包括底座、外框架、托料板、上側夾持機構、側部夾持機構，所述外框架截面呈門型結構，包括兩相對設置的豎板以及連接兩豎板頂部的頂板，所述豎板的底部固定于底座上，托料板設有兩塊、設置在底座上并位于外框架內部，兩塊托料板中間設有間隔，兩托料板相對的上邊沿用于托置靶坯下端；上側夾持機構設置于頂板上，包括上壓板、上活塞缸，上活塞缸缸體固定于頂板上，上活塞缸的活塞桿向下伸出與上壓板連接、用于驅動上壓板對靶坯上端進行頂壓；側部夾持機構設有兩個、用于分別設置在靶坯的水平兩側，包括側活塞缸、側夾板，側夾板下側與所述托料板轉動連接，側活塞缸缸體轉動安裝在所述豎板上，側活塞缸活塞桿向外框架內部伸出并與側夾板上側轉動連接，所述側夾板用于受到側活塞缸推動作用相對托料板轉動、夾緊靶坯側部。

有益效果：本靶材切割固定裝置用于安裝靶坯時，將靶坯沿兩塊托料板中間的間隔豎向放置在兩托料板之間，之后驅動上活塞缸、側活塞缸的活塞桿伸出，使上壓板伸出、側夾板相對底座向靶坯轉動，從頂部、兩側分別頂緊、夾緊靶坯，使靶坯無法移動；同樣的，驅動上活塞缸、側活塞缸使其活塞桿收回，上壓板向上移動，側夾板相對底座遠離靶坯移動，上側夾持機構和側部夾持機構均松開靶坯，操作人員可直接拿下或者推動靶坯。綜上，本實用新型具有拆卸方便、快速的優點，靶坯安裝好以后其頂部、側部、底部均受到夾持頂緊，結構穩固、便于切割；使用適用性好，可用于不同外徑尺寸的靶坯，拆裝過程中人手操作步驟少，通過外部氣源、液壓源即可快速完成作業，省時省力，大大提高拆裝效率、加快切割速度的同時降低靶材綜合加工成本。

進一步的，所述上壓板的兩側設有滑動凸起，所述豎板內側則設有用于與滑動凸起上下滑動導向配合的滑動凹槽，所述滑動凹槽為收口槽。

有益效果：上壓板與豎板上下滑動配合，保證上壓板移動過程中沿既定路線運動、避免發生偏移。

進一步的，靶材切割固定裝置還包括用于對靶坯切割端進行限位的可調限位件，可調限位件整體呈L型結構，包括豎直限位板和橫向板，底座上于兩托料板之間的間隔處設有供所述橫向板插入的安裝槽，安裝槽槽底設有螺柱，橫向板上設有供螺柱通過的長槽，所述豎直限位板固定在橫向板一端，所述長槽貫通橫向板另一端；通過螺母與螺柱連接將橫向板壓緊固定在所述底座上，使用時豎直限位板用于與靶坯切割端的端面相抵。

有益效果：設置對靶坯切割端進行限位、位置可移動的可調限位件，便于調節、確定靶材切割厚度。

進一步的，所述橫向板的豎直側面上設有刻度線。