[實(shí)用新型]爐口冷卻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222140727.2
• 申請(qǐng)日: 2022-08-15
• 公開（公告）號(hào): CN218270238U
• 公開（公告）日: 2023-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱太榮;劉磊;易術(shù);林佳繼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市拉普拉斯能源技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F27D9/00
• 分類號(hào): F27D9/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，公開了爐口冷卻裝置，包括水冷組件；水冷組件包括水冷殼體，水冷殼體內(nèi)設(shè)有水冷管，水冷殼體上設(shè)有出風(fēng)口；該爐口冷卻裝置還包括風(fēng)機(jī)和連接組件，該連接組件包括連接管道，水冷殼體與風(fēng)機(jī)通過連接管道相連通，以能夠使風(fēng)機(jī)通過連接管道向水冷殼體內(nèi)送氣體。通過風(fēng)機(jī)輸送氣體至水冷殼體內(nèi)，然后通過水冷管將進(jìn)行冷卻后，冷卻氣體進(jìn)入到爐口腔室內(nèi)，使?fàn)t口腔室處進(jìn)行快速降溫，延長(zhǎng)爐門密封圈的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種爐口冷卻裝置。

背景技術(shù)

高溫爐常用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光伏等行業(yè)的熱制程工藝中。在現(xiàn)有的技術(shù)中，傳統(tǒng)高溫爐爐門一般采用橡膠密封圈來密封，高溫爐在進(jìn)行工作時(shí)，爐門長(zhǎng)時(shí)間保持高溫，橡膠在高溫下容易膨脹變形，密封圈很容易失效，從而使?fàn)t內(nèi)的真空度達(dá)不到工藝需求，最終導(dǎo)致產(chǎn)品不良，因此需要對(duì)密封圈進(jìn)行冷卻，而傳統(tǒng)的自然換熱冷卻方式冷卻速度過慢，導(dǎo)致爐口腔室依舊長(zhǎng)時(shí)間保持高溫，爐門密封圈容易損壞失效。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種爐口冷卻裝置，使冷氣迅速帶走熱氣，對(duì)爐口腔室處進(jìn)行快速降溫，從而使?fàn)t門進(jìn)行快速降溫，延長(zhǎng)爐門密封圈的使用壽命。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

爐口冷卻裝置，用于爐口腔室，包括：風(fēng)機(jī)；水冷組件；所述水冷組件包括水冷殼體，所述水冷殼體內(nèi)設(shè)有水冷管，所述水冷殼體上設(shè)有所述爐口腔室連通出風(fēng)口；連接組件；所述連接組件包括連接管道，所述水冷殼體與所述風(fēng)機(jī)通過所述連接管道相連通；其中：

所述風(fēng)機(jī)能夠通過所述連接管道向水冷殼體內(nèi)輸送氣體，氣體與所述水冷管換熱后流向所述爐口腔室。

作為優(yōu)選，所述連接組件還包括變徑接頭，所述變徑接頭的一端與所述連接管道連接，所述變徑接頭的另一端與所述風(fēng)機(jī)連接。

作為優(yōu)選，所述連接組件還包括波紋管，所述波紋管的一端連接所述變徑接頭，所述波紋管的另一端連接所述連接管道。

作為優(yōu)選，所述連接組件還包括卡箍，所述波紋管與所述變徑接頭之間以及所述波紋管與所述連接管道之間通過所述卡箍連接。

作為優(yōu)選，所述水冷殼體上設(shè)有可拆卸的封板。

作為優(yōu)選，所述出風(fēng)口設(shè)有多個(gè)，并均勻分布于所述封板上并面向所述爐口方向。

作為優(yōu)選，所述封板設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述封板分別位于所述水冷殼體的相對(duì)兩側(cè)。

作為優(yōu)選，所述水冷管為曲管或直管，并均勻分布于所述水冷殼體內(nèi)。

作為優(yōu)選，所述水冷組件固定于所述爐口腔室的腔室框體上。

作為優(yōu)選，所述水冷組件設(shè)置于相鄰的所述腔室框體之間。

本實(shí)用新型的有益效果：

通過風(fēng)機(jī)輸送氣體至水冷殼體內(nèi)，然后通過水冷管將進(jìn)行冷卻后，冷卻氣體進(jìn)入到爐口腔室內(nèi)，加速爐口腔室內(nèi)的冷氣循環(huán)，使冷氣迅速帶走熱氣，對(duì)爐口腔室處進(jìn)行快速降溫，延長(zhǎng)爐門密封圈的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型爐口冷卻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型爐口冷卻裝置的側(cè)視圖；

圖3是本實(shí)用新型高溫爐安裝爐口冷卻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型高溫爐安裝冷卻裝置的側(cè)視圖。

圖中：

1-風(fēng)機(jī)；2-連接組件；21-變徑接頭；22-卡箍；23-波紋管；24-連接管道；3-水冷組件；31-水冷管；32-封板；33-水冷殼體；34-出風(fēng)口；4-腔室框體；5-爐口；6-爐口腔室。