[實用新型]一種提升散熱效果的化學氣相沉積爐

有效

• 申請號: 202222085668.3
• 申請日: 2022-08-09
• 公開（公告）號: CN218232568U
• 公開（公告）日: 2023-01-06
• 發明（設計）人: 周明;賀鵬博
• 申請（專利權）人: 蘇州鎧欣半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 長沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 叢詩洋

本實用新型提供一種提升散熱效果的化學氣相沉積爐，包括：爐體，所述爐體內開設有存放槽，所述存放槽的內壁固定連接有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的活動端固定連接有存料管；固定箱，所述固定箱固定連接于所述存放槽開口的同一側，所述固定箱的中部固定連接有固定筒。本實用新型提供一種提升散熱效果的化學氣相沉積爐，通過設置有螺旋循環管，可以防止工人存放筒，保證工人的安全健康，并且在開啟循環泵時，會使冷卻液在螺旋循環管內流動，對螺旋循環管周圍的空氣進行降溫，加快對存料管的散熱，且與抽氣機配合，加快螺旋循環管與存料管周圍的空氣流速，對存料管進一步散熱，通過雙重散熱可以有效使存料管快速降溫。

技術領域

本實用新型涉及沉積爐技術領域，尤其涉及一種提升散熱效果的化學氣相沉積爐。

背景技術

化學氣相沉積是一種化工技術，化學氣相淀積是近幾十年發展起來的制備無機材料的新技術，目前化學氣相淀積法已經廣泛用于研制新晶體、提純物質，淀積各種多晶、單晶或玻璃態無機薄膜材料等領域。

現在進行化學氣相沉積時往往會使用氣相沉積爐，氣相沉積爐內會設置存料管，然后將需要參與化學反應的各種材料以及氣體放入存料管內，最后對存料管進行加熱，使得在存料管內的材料以及氣體發生化學反應最后得到新的材料。

目前中國專利網(申請號：CN202123282326.2)所提出的一種化學氣相沉積爐，雖然可以使得存料管散熱加快，同時通過散熱組件加速對存料管進行散熱，從而使得人們在拿取化學反應后形成的材料不會被燙傷，但仍存在部分缺陷，僅僅將存料管暴露在空氣中進行散熱，自然降溫對存料管的散熱效果較差，同時不具有防護結構，若工人不小心誤觸存料管則會影響工人生命健康，因此，有必要提供一種提升散熱效果的化學氣相沉積爐解決上述技術問題。

實用新型內容

本實用新型提供一種提升散熱效果的化學氣相沉積爐，解決了僅將存料管暴露在空氣中進行散熱，自然降溫對存料管的散熱效果較差，同時不具有防護結構，若工人不小心誤觸存料管則會影響工人生命健康的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的提升散熱效果的化學氣相沉積爐，包括：爐體，所述爐體內開設有存放槽，所述存放槽的內壁固定連接有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的活動端固定連接有存料管；

固定箱，所述固定箱固定連接于所述存放槽開口的同一側，所述固定箱的中部固定連接有固定筒，所述固定筒的頂部固定連接有過濾網，所述固定筒的內壁固定連接有抽風機，所述固定箱的表面固定連接有循環泵，所述循環泵的抽水端延伸至固定箱的底部，所述循環泵的出水端固定連接有螺旋循環管，所述螺旋循環管的出水端貫穿且延伸至固定箱內，所述固定箱的一側開設有通氣孔。

優選的，所述存料管的表面固定連接有滑環，所述存放槽的內壁開設有滑槽.所述滑槽的內壁與滑環的表面滑動連接。

優選的，所述固定箱的兩側均設置有攪拌機構，所述攪拌機構包括攪拌電機，所述攪拌電機的輸出軸固定連接有攪拌軸，所述攪拌軸的表面固定連接有攪拌葉。

優選的，所述固定箱的一側固定連接有半導體制冷器。

優選的，所述固定筒的底部固定連接有分氣盤，所述分氣盤的表面均勻開設有若干個出氣孔。

優選的，所述固定箱的內壁轉動連接有固定軸，所述固定軸的表面固定連接有水輪，所述固定軸的一端延伸至通氣孔內固定連接有風扇。

優選的，所述固定箱一側的頂部與底部分別固定連接有進水管和出水管。

與相關技術相比較，本實用新型提供的提升散熱效果的化學氣相沉積爐具有如下有益效果：