[實用新型]一種柔性吸盤組件

有效

• 申請號: 202222076680.8
• 申請日: 2022-08-08
• 公開（公告）號: CN217861311U
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 郭海亮;方福貴
• 申請（專利權）人: 蘇州邱倫智能科技有限公司
• 主分類號: B25J15/06
• 分類號: B25J15/06
• 代理公司: 蘇州牛衛士知識產權代理有限公司 32619
• 代理人: 劉艷芬

本實用新型涉及柔性吸盤組件技術領域，具體涉及一種柔性吸盤組件，包括金屬管體、金屬吸盤端面以及用于連通所述金屬管體和所述金屬吸盤端面的氣道，所述金屬管體和所述金屬吸盤端面之間設有用于柔性連接的銜接件，所述銜接件內部開設有用于使所述氣道貫通的連接通道，本實用新型通過銜接件的設計，使得金屬管體和金屬吸盤端面之間由現有的剛性連接變為柔性連接，金屬吸盤端面可以根據晶圓玻璃表面水平程度來適應性調整角度，從而避免金屬吸盤端面與晶圓玻璃表面之間存在間隙，使得金屬吸盤端面可以緊緊的、牢牢的吸住晶圓玻璃；通過環形件、凹槽以及插接件的設計，進一步使得銜接件與金屬吸盤端面、銜接件與金屬管體之間粘接牢固。

技術領域

本實用新型屬于柔性吸盤組件技術領域，具體涉及一種柔性吸盤組件。

背景技術

吸盤有很多種，一種利用內外大氣壓力的差別,吸附在物體上的一種掛件,或者是抓取物體的一種工具；另一種是磁力吸盤,專門用于對鐵磁性物質的吸附和固定,大多數應用在機械加工等領域；對于半導體芯片制造領域，會使用到相應的晶圓，而晶圓表面有一層玻璃片，此類晶圓的吸取亦是通過吸盤進行吸取；

現有的吸盤組件一般包括金屬吸盤端面、金屬管體、氣道以及螺紋連接頭；通過螺紋連接頭與吸嘴連接，然后借助吸氣泵進行吸氣，此時金屬吸盤端面內部的氣體將會從氣道被吸氣泵吸走，產生負壓，從而使得金屬吸盤端面牢牢吸附在晶圓玻璃表面，實現對晶圓的吸取，關于吸盤組件的工作原理等可以參考現有技術中公開號為CN209087766U，名稱為一種晶圓刮邊機的中國授權實用新型專利，其中“吸盤為U型板狀結構，所述吸盤中間設有一容腔，且在所述吸盤上設置有吸孔以及擋板，在吸盤上設置有吸氣口，所述吸氣口可以通過吸氣管與吸氣裝置相連，所述吸氣裝置可以為吸氣泵，所述吸盤上還可以設置有位置傳感器，所述位置傳感器可以用來檢測放置在料盒內的晶圓的位置，且所述位置傳感器可以為光電位置傳感器。當吸盤吸取晶圓時，四軸機械手控制吸盤移動到放置有晶圓的料盤處，根據位置傳感器檢測到的待取晶圓的位置，四軸機械手控制吸盤上移或下移到所要吸取的晶圓的下方而后控制吸盤平移插入至料盒內，當晶圓接觸到擋板時，吸盤停止移動，晶圓落入到吸盤上，吸氣裝置啟動，吸盤將晶圓吸附在吸盤上，而后帶動所述晶圓從料盤內移出。在取出晶圓后，四周機械手控制所述吸盤帶動晶圓移動至第二CCD相機處，第二CCD相機對取出的晶圓進行拍攝以獲取晶圓的位置坐標，而后根據獲取的位置坐標調整吸盤位置以補償晶圓的位置偏差，使得吸盤能夠將晶圓放置在固定組件的指定位置上”；

由于現有的金屬吸盤端面和金屬管體之間剛性連接，使得金屬吸盤端面不能進行角度的微調，而晶圓玻璃表面無法做到完全水平，必然會有角度的偏差，此時若金屬吸盤端面不能進行角度的調節，適應晶圓玻璃表面的水平程度，則會使得金屬吸盤端面與晶圓玻璃表面產生一定的間隙，可能導致吸盤組件吸取不牢固，因此亟需一種柔性吸盤組件來解決上述問題。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種柔性吸盤組件，以解決上述背景技術中提出的現有吸盤組件中的金屬吸盤端面與金屬管體之間直接進行剛性連接，無法進行適應性調節的問題。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種柔性吸盤組件，包括金屬管體、金屬吸盤端面以及用于連通所述金屬管體和所述金屬吸盤端面的氣道，所述金屬管體和所述金屬吸盤端面之間設有用于柔性連接的銜接件，所述銜接件內部開設有用于使所述氣道貫通的連接通道。

作為對本實用新型的進一步改進，所述銜接件由橡膠制成；所述氣道包括開設在所述金屬管體內部的下通道和開設在所述金屬吸盤端面內的上通道。

作為對本實用新型的進一步改進，所述金屬管體和所述銜接件之間熔融粘接；所述銜接件和所述金屬吸盤端面之間熔融粘接。