[實用新型]電池硅片清洗設備

有效

• 申請號: 202222024787.8
• 申請日: 2022-08-02
• 公開（公告）號: CN218424270U
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 吳超
• 申請（專利權）人: 賀利氏光伏科技（上海）有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B1/04;B08B3/08;B08B11/02;H01L31/18
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 劉敏;吳鵬

1.一種電池硅片清洗設備，其特征在于，包括：

用于保持待清洗硅片(1)的保持裝置(2)；

用于清洗所述待清洗硅片的電動清洗裝置(3)，所述電動清洗裝置包括具有工作表面(310)的清潔頭(31)和用于驅動所述清潔頭(31)運動的驅動裝置(32)；和

用于對所述待清洗硅片(1)和/或所述清潔頭(31)施加清洗劑的施加裝置(4)；

其中，所述電動清洗裝置(3)布置成能在第一位置和第二位置之間移動，在所述第一位置，所述清潔頭(31)的工作表面與所述待清洗硅片的待清洗表面接觸，在所述第二位置，所述清潔頭(31)的工作表面與所述待清洗表面保持一定距離。

2.根據權利要求1所述的電池硅片清洗設備，其特征在于，所述驅動裝置(32)包括電動馬達(33)和將所述電動馬達(33)連接到所述清潔頭(31)的傳動軸(34)，用于驅動所述清潔頭旋轉運動。

3.根據權利要求1所述的電池硅片清洗設備，其特征在于，還包括支架(6)和滑軌(7)，所述清潔頭(31)和所述驅動裝置(32)通過所述支架連接到所述滑軌，所述支架和所述清潔頭(31)借由所述滑軌移動。

4.根據權利要求1所述的電池硅片清洗設備，其特征在于，所述保持裝置(2)包括真空吸盤(21)和使所述真空吸盤(21)產生真空吸力的真空泵(23)，所述真空吸盤適于將待清洗硅片吸附到其上而保持所述待清洗硅片。

5.根據權利要求1所述的電池硅片清洗設備，其特征在于，所述保持裝置(2)包括保持座(21’)、設置在所述保持座的上表面中的凹槽(22’)和布置在所述凹槽內的能豎向移動的頂出機構(23’)，所述凹槽用于接納所述待清洗硅片，所述頂出機構包括布置在所述凹槽的底面處的頂板(231’)和延伸超出所述保持座的下表面的頂桿(232’)。

6.根據權利要求1所述的電池硅片清洗設備，其特征在于，所述施加裝置(4)構造為滴加裝置，所述滴加裝置包括清洗劑容器(41)、滴加頭(42)、將所述滴加頭與所述清洗劑容器流體連通的輸送管(43)以及將所述清洗劑容器(41)內的清洗劑泵送至所述滴加頭的泵送裝置(44)，所述清洗劑能夠經所述滴加頭(42)滴加至所述待清洗硅片的待清洗表面和/或所述清潔頭的要與所述待清洗表面接觸的所述工作表面。

7.根據權利要求6所述的電池硅片清洗設備，其特征在于，所述滴加頭(42)布置在所述待清洗硅片的上方，以將清洗劑滴加到所述待清洗表面。

8.根據權利要求6所述的電池硅片清洗設備，其特征在于，所述滴加頭(42)配置成位于所述清潔頭上方并能隨所述清潔頭移動，以將清洗劑滴加到所述清潔頭的該工作表面。

9.根據權利要求6所述的電池硅片清洗設備，其特征在于，還包括集液器(8)，所述集液器布置在所述滴加頭(42)的下方。

10.根據權利要求1所述的電池硅片清洗設備，其特征在于，所述清潔頭(31)的所述工作表面的面積大于等于所述待清洗表面的面積，并且所述清潔頭(31)的所述工作表面由軟質皮、無塵紙或無塵布構成。