[實(shí)用新型]坩堝組件和晶體生長(zhǎng)爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221671885.4
• 申請(qǐng)日: 2022-06-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN217709758U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-11-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳俊宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 徐州鑫晶半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/10
• 分類號(hào): C30B15/10;C30B29/06
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 李雪靜

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種坩堝組件和晶體生長(zhǎng)爐，坩堝組件包括石墨坩堝和石英坩堝，石墨坩堝限定出頂部敞開(kāi)的安裝腔，安裝腔的周壁上形成有卡槽，石英坩堝設(shè)于安裝腔且限定出盛放腔，石英坩堝的外周壁上形成有卡凸，卡凸向下插配于對(duì)應(yīng)卡槽。根據(jù)本實(shí)用新型的坩堝組件，通過(guò)在石英坩堝的外周壁上設(shè)置卡凸、安裝腔的周壁上設(shè)置卡槽，卡凸向下插配于卡槽，以便于石英坩堝和石墨坩堝的組裝，同時(shí)石墨坩堝可以對(duì)石英坩堝的周壁起到一定限位、固定作用，以便于避免石英坩堝長(zhǎng)期處于高溫環(huán)境中發(fā)生軟化滑移等易導(dǎo)致熔湯泄漏，從而有保證了石英坩堝結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，便于保證晶體生長(zhǎng)爐可靠運(yùn)行。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種坩堝組件和晶體生長(zhǎng)爐。

背景技術(shù)

晶體生長(zhǎng)爐在生產(chǎn)晶棒過(guò)程中，將物料裝入石英坩堝，通過(guò)將石英坩堝置于高溫環(huán)境中，物料在石英坩堝內(nèi)熔化為熔湯，而后利用晶種與熔湯接觸并向上緩慢提拉晶種，從而生長(zhǎng)出晶棒。

然而，在長(zhǎng)晶過(guò)程中，石英坩堝長(zhǎng)時(shí)間處于感溫環(huán)境中，石英坩堝易出現(xiàn)軟化使得石英坩堝變形、向下滑移等，導(dǎo)致石英坩堝中的熔湯易泄漏，影響晶體生長(zhǎng)爐的運(yùn)行安全性和可靠性。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本實(shí)用新型提出一種坩堝組件，所述坩堝組件具有良好的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，便于保證晶體生長(zhǎng)爐可靠運(yùn)行。

本實(shí)用新型還提出一種具有上述坩堝組件的晶體生長(zhǎng)爐。

根據(jù)本實(shí)用新型第一方面實(shí)施例的坩堝組件，包括：石墨坩堝，所述石墨坩堝限定出頂部敞開(kāi)的安裝腔，所述安裝腔的周壁上形成有卡槽；石英坩堝，所述石英坩堝設(shè)于所述安裝腔且限定出盛放腔，所述石英坩堝的外周壁上形成有卡凸，所述卡凸向下插配于對(duì)應(yīng)所述卡槽。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的坩堝組件，通過(guò)在石英坩堝的外周壁上設(shè)置卡凸、安裝腔的周壁上設(shè)置卡槽，卡凸向下插配于卡槽，以便于石英坩堝和石墨坩堝的組裝，同時(shí)石墨坩堝可以對(duì)石英坩堝的周壁起到一定限位、固定作用，以便于避免石英坩堝長(zhǎng)期處于高溫環(huán)境中發(fā)生軟化滑移等易導(dǎo)致熔湯泄漏，從而有保證了石英坩堝結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，便于保證晶體生長(zhǎng)爐可靠運(yùn)行。

在一些實(shí)施例中，所述卡槽和所述卡凸分別為多個(gè)，多個(gè)所述卡凸沿所述石英坩堝的軸向間隔設(shè)置，每個(gè)所述卡凸分別對(duì)應(yīng)一個(gè)所述卡槽，其中，每個(gè)所述卡凸沿所述石英坩堝的周向連續(xù)延伸為環(huán)形；或者，每個(gè)所述卡凸包括多個(gè)沿所述石英坩堝的周向間隔設(shè)置的子卡凸。

在一些實(shí)施例中，多個(gè)所述卡凸包括沿所述石英坩堝的軸向自上向下依次設(shè)置的第一卡凸、第二卡凸和第三卡凸，在上下方向上，所述第一卡凸的長(zhǎng)度大于所述第二卡凸的長(zhǎng)度，所述第二卡凸的長(zhǎng)度大于所述第三卡凸的長(zhǎng)度。

在一些實(shí)施例中，所述盛放腔包括第一腔體和第二腔體，所述第一腔體和所述第二腔體沿軸向方向排布，且所述第一腔體與所述第二腔體的頂側(cè)連通，所述第一腔體的頂部形成有所述盛放腔的敞口，所述第一腔體形成為等截面腔體，所述卡凸由上向下朝向遠(yuǎn)離所述石英坩堝的中心軸線的方向設(shè)置；或者，所述第一腔體形成為變截面腔體，且所述第一腔體的橫截面積自下向上逐漸增大，所述卡凸由上向下沿平行于所述石英坩堝的中心軸線的方向設(shè)置。

在一些實(shí)施例中，所述石墨坩堝包括堝體和底座，所述堝體包括多個(gè)沿所述石英坩堝的周向間隔設(shè)置的坩堝分體，每個(gè)所述坩堝分體的底部形成有多組限位柱組，多組所述限位柱組沿所述石英坩堝的徑向間隔設(shè)置，且每組所述限位柱組包括至少一個(gè)限位柱，所述底座形成有多個(gè)限位槽，所述限位柱插配于對(duì)應(yīng)所述限位槽。

在一些實(shí)施例中，多組所述限位柱組包括沿所述石英坩堝的徑向由內(nèi)向外依次設(shè)置的第一限位柱組、第二限位柱組和第三限位柱組，所述第一限位柱組的所述限位柱的長(zhǎng)度大于所述第二限位柱組的所述限位柱的長(zhǎng)度，所述第二限位柱組的所述限位柱的長(zhǎng)度大于所述第三限位柱組的所述限位柱的長(zhǎng)度。