[實用新型]一種采用陶瓷腔體的等離子源

有效

• 申請號: 202221632713.6
• 申請日: 2022-06-27
• 公開（公告）號: CN218041885U
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 張德才;洪靖為;黃影
• 申請（專利權）人: 上海財盈半導體股份有限公司
• 主分類號: H05H1/26
• 分類號: H05H1/26
• 代理公司: 北京盛凡佳華專利代理事務所(普通合伙) 11947
• 代理人: 張麗娜

1.一種采用陶瓷腔體的等離子源，包括有整流濾波穩壓模塊(1)、輔助電源(2)、高頻逆變模塊(3)、第一主控板(4)、功率合成模塊(5)、功率輸出及檢測電路(6)、第二主控板(7)和點火板(8)組成，所述整流濾波穩壓模塊(1)及輔助電源(2)分別連接交流電的輸出端，且整流濾波穩壓模塊(1)的輸出端連接有高頻逆變模塊(3)，所述輔助電源(2)的輸出端分別連接高頻逆變模塊(3)和第一主控板(4)，且高頻逆變模塊(3)的輸出端分別連接有功率合成模塊(5)和第一主控板(4)，所述功率合成模塊(5)的輸出端連接有功率輸出及檢測電路(6)，且功率輸出及檢測電路(6)電性連接有第一主控板(4)，所述第一主控板(4)連接有第二主控板(7)，且第二主控板(7)連接有點火板(8)，其特征在于：還包括采用陶瓷材質的腔體(9)；

所述腔體(9)的內部包括有絕緣阻隔腔(901)、進氣管(902)和出氣管(903)，且點火板(8)連接有腔體(9)，且腔體(9)電性連接有第二主控板(7)；

所述腔體(9)的外壁設置有絕緣阻隔板(904)，且絕緣阻隔板(904)的上端連接有上槽口(905)，所述絕緣阻隔板(904)的下端安裝有下槽口(906)，且絕緣阻隔板(904)的外壁連接有殼體(907)，所述殼體(907)的表面卡接有安裝板(908)，且殼體(907)的表面連接有點火線圈(909)。

2.根據權利要求1所述的一種采用陶瓷腔體的等離子源，其特征在于，所述腔體(9)通過點火線圈(909)與點火板(8)相連接，且腔體(9)通過電性反饋信號給第二主控板(7)。

3.根據權利要求1所述的一種采用陶瓷腔體的等離子源，其特征在于，所述腔體(9)的絕緣阻隔腔(901)內壁覆蓋三氧化二釔膜、氧化鋁膜、二氧化硅膜或氮化鋁膜。

4.根據權利要求3所述的一種采用陶瓷腔體的等離子源，其特征在于，所述腔體(9)整體采用三氧化二釔陶瓷材質。

5.根據權利要求4所述的一種采用陶瓷腔體的等離子源，其特征在于，所述腔體(9)的上端為進氣管(902)，且腔體(9)的下端為出氣管(903)。

6.根據權利要求1所述的一種采用陶瓷腔體的等離子源，其特征在于，所述絕緣阻隔腔(901)在絕緣阻隔板(904)的內壁設置，且進氣管(902)與上槽口(905)相對應，并且出氣管(903)與下槽口(906)相對應。

7.根據權利要求1所述的一種采用陶瓷腔體的等離子源，其特征在于，所述絕緣阻隔板(904)在殼體(907)的軸心處設置，所述安裝板(908)在殼體(907)的外壁呈“X”型結構。