[實(shí)用新型]一種光學(xué)引擎系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221247325.6
• 申請(qǐng)日: 2022-05-19
• 公開（公告）號(hào): CN217467464U
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鮑秀娟;梅文輝;汪孝軍;王瑞;鄭清雄;勞仲標(biāo);黃圖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中山新諾科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 梁鑒明

1.一種光學(xué)引擎系統(tǒng)，其特征在于，包括：

光源單元，用于發(fā)射曝光光束；

反射鏡，設(shè)置于所述光源單元發(fā)射所述曝光光束的一側(cè)，用于接收所述曝光光束并反射出反射光束；

第一聚焦透鏡，設(shè)置于所述光源單元與所述反射鏡之間的光束傳遞路徑上；

空間光調(diào)制器，設(shè)置于所述反射鏡反射出所述反射光束的一側(cè)，用于生成像素圖形或像素掩膜圖形；

成像單元，設(shè)置于所述空間光調(diào)制器輸出所述像素圖形的一側(cè)，用于對(duì)所述像素圖形或所述像素掩膜圖形進(jìn)行高分辨率成像；

第二聚焦透鏡，設(shè)置于所述空間光調(diào)制器與所述成像單元之間的光束傳遞路徑上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)引擎系統(tǒng)，其特征在于，所述第一聚焦透鏡和所述第二聚焦透鏡皆采用非球面透鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)引擎系統(tǒng)，其特征在于，所述光源單元包括：

曝光光源；

光纖，其一端與所述曝光光源的輸出端連接；

光準(zhǔn)直勻化裝置，與所述光纖的另一端連接，用于對(duì)所述曝光光束進(jìn)行準(zhǔn)直和/或均勻化處理后輸出。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)引擎系統(tǒng)，其特征在于，所述曝光光源采用藍(lán)紫光源。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)引擎系統(tǒng)，其特征在于，所述光纖采用方形光纖。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)引擎系統(tǒng)，其特征在于，所述成像單元包括：

成像鏡頭，具有入光口和出光口，所述入光口位于靠近所述空間光調(diào)制器的一側(cè)，所述出光口位于遠(yuǎn)離所述空間光調(diào)制器的一側(cè)；

成像焦面，設(shè)置于靠近所述出光口的一側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)引擎系統(tǒng)，其特征在于，所述成像鏡頭的數(shù)值孔徑范圍為0.25至0.5。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)引擎系統(tǒng)，其特征在于，所述成像鏡頭采用遠(yuǎn)心鏡頭。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)引擎系統(tǒng)，其特征在于，所述空間光調(diào)制器采用數(shù)字微鏡器件。