[實用新型]單晶爐異型水冷熱屏

有效

• 申請號: 202221003210.2
• 申請日: 2022-04-27
• 公開（公告）號: CN218491885U
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發明（設計）人: 侯景成
• 申請（專利權）人: 廣州柏創機電設備有限公司
• 主分類號: C30B27/02
• 分類號: C30B27/02;C30B29/06
• 代理公司: 廣東啟源律師事務所 44742
• 代理人: 楊俊達

本實用新型提供單晶爐異型水冷熱屏，單晶爐異型水冷熱屏，包括：主流進水管、異型錐筒進水管、異型錐筒、異型錐筒出水管、主流出水管和支撐卡板，所述異型錐筒的頂部端口處對稱連接有異型錐筒進水管和異型錐筒出水管，通過主流進水管從外部接入水進來，進入異型錐筒進水管從而進入異型錐筒內部的水路循環，到異型錐筒出水管，最后從主流出水管流出到外部水路，不斷的如此循環帶走熱量，使得結晶的生產速度相比原來傳統型更高，生產效率也會更高，成本也在不斷的下降，異型錐筒可根據單晶爐熱場和CCD視線位置調整尺寸，突破了現有傳統型水冷熱屏，目前所能夠達到最高提升拉速的瓶頸，在原有拉速的基礎上更上一層樓，從而大大降低了成本。

技術領域

本實用新型屬于單晶硅生產設備技術領域，具體為單晶爐異型水冷熱屏。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體(氬氣為主)環境中，用石墨加熱器等將多晶硅等多晶材料熔化，然后用直拉法向上直拉生長出晶棒的設備。晶棒可用于制作無錯位單晶材料。晶棒在向上生長的過程中，需要進行冷卻，使得晶棒結晶成型。

原來傳統型水冷熱屏提升拉速方面不佳，生產成本高，不能根據單晶爐熱場和CCD視線位置調整尺寸，為此，我們提出單晶爐異型水冷熱屏。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供單晶爐異型水冷熱屏，以解決上述背景技術中提出的問題，本實用新型結構使得結晶的生產速度相比原來傳統型更上一個臺階，進一步的提高生產效率，異型錐筒可根據單晶爐熱場和CCD視線位置調整尺寸。

本實用新型的目的可以通過以下技術方案實現：單晶爐異型水冷熱屏，包括：主流進水管、異型錐筒進水管、異型錐筒、異型錐筒出水管、主流出水管和支撐卡板，所述異型錐筒的頂部端口處對稱連接有異型錐筒進水管和異型錐筒出水管，所述異型錐筒進水管的一端連接有主流進水管，所述異型錐筒出水管的一端連接有主流出水管。

進一步地，所述異型錐筒進水管為圓臺結構，所述異型錐筒進水管的內壁開設有異型豁口。

進一步地，所述異型錐筒的頂部直徑大于底部直徑，所述異型豁口為半螺旋狀結構，所述異型豁口貼合異型錐筒的內壁設置。

進一步地，所述異型錐筒進水管的另一端與異型錐筒出水管的另一端均與異型錐筒的內腔連通。

進一步地，所述主流進水管和主流出水管上分別固定有支撐卡板。

本實用新型的有益效果：通過主流進水管從外部接入水進來，進入異型錐筒進水管從而進入異型錐筒內部的水路循環，到異型錐筒出水管，最后從主流出水管流出到外部水路，不斷的如此循環帶走熱量，使得結晶的生產速度相比原來傳統型更高，生產效率也會更高，成本也在不斷的下降，異型錐筒可根據單晶爐熱場和CCD視線位置調整尺寸，突破了現有傳統型水冷熱屏，目前所能夠達到最高提升拉速的瓶頸，在原有拉速的基礎上更上一層樓，從而大大降低了成本。

附圖說明

為了便于本領域技術人員理解，下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。

圖1是本實用新型的整體側視立體結構示意圖；

圖2是本實用新型的整體正視立體結構示意圖；

圖3是本實用新型的整體剖視結構圖；

圖4是本實用新型的整體俯視立體結構圖；

圖5是本實用新型的整體主視結構圖；

圖中：1、主流進水管；2、異型錐筒進水管；3、異型錐筒；4、異型錐筒出水管；5、主流出水管；6、支撐卡板。

具體實施方式