[實(shí)用新型]一種高純氨生產(chǎn)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220748735.2
• 申請(qǐng)日: 2022-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN217526404U
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹愛華;尹建華;凌磊;李成生;康彥懷;劉永淘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘭州隆華特種氣體科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D3/00
• 分類號(hào): B01D3/00;B01D3/14;C01C1/10
• 代理公司: 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 范呂

本實(shí)用新型公開了一種高純氨生產(chǎn)系統(tǒng)，涉及高純氨生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，解決現(xiàn)有的高純氨生產(chǎn)裝置生產(chǎn)不穩(wěn)定、能耗高、運(yùn)行成本高的技術(shù)問題；包括初餾塔、精餾塔和高純氨儲(chǔ)罐，還包括初餾冷凝器、氣液分離器、粗液氨罐和導(dǎo)熱油油箱；所述初餾塔與進(jìn)料管連通，所述初餾依次與初餾冷凝器、氣液分離器連通，所述氣液分離器與初餾塔塔頂、粗液氨罐連通，所述粗液氨罐與精餾塔連通，所述精餾塔底部連接高純氨儲(chǔ)罐，所述導(dǎo)熱油油箱內(nèi)設(shè)置有電加熱器，所述導(dǎo)熱油油箱與初餾塔和精餾塔連接提供熱源；本實(shí)用新型用電加熱的導(dǎo)熱油代替蒸汽作為初餾塔和精餾塔塔釜的再沸器熱源，大幅度降低了工藝成本，節(jié)能降耗，而且保證了熱源穩(wěn)定性，提高了生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及化工生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，更具體的是涉及高純氨生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

隨著科技的進(jìn)步，光電子，微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，高純氨產(chǎn)品作為電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體，是化學(xué)氣相沉積(CVD)重要的“氮”源，因而成為電子領(lǐng)域十分重要的原材料，發(fā)揮著重要作用。

高純氨的生產(chǎn)其工藝指標(biāo)要求高，現(xiàn)有的高純氨生產(chǎn)裝置主要包括初餾塔和精餾塔，其加熱源通常是利用蒸汽作為加熱源，操作難度較大，蒸汽管網(wǎng)壓力溫度波動(dòng)工藝不平穩(wěn)，能耗大，且冬季容易結(jié)凍，導(dǎo)致裝置運(yùn)行成本高，生產(chǎn)工藝不平穩(wěn)等問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于：為了解決現(xiàn)有的高純氨生產(chǎn)裝置生產(chǎn)不穩(wěn)定、能耗高、運(yùn)行成本高的技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種高純氨生產(chǎn)系統(tǒng)。

本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述目的具體采用以下技術(shù)方案：

一種高純氨生產(chǎn)系統(tǒng)，包括初餾塔、精餾塔和高純氨儲(chǔ)罐，還包括初餾冷凝器、氣液分離器、粗液氨罐和導(dǎo)熱油油箱；

所述初餾塔與進(jìn)料管連通，所述初餾塔下部設(shè)有再沸器一，所述初餾塔頂部通過粗氨氣管道與初餾冷凝器連通，所述初餾冷凝器通過初餾液管道一與氣液分離器連通，所述氣液分離器通過回流管與初餾塔塔頂連通，所述氣液分離器還通過初餾液管道二與粗液氨罐連通，所述粗液氨罐與精餾塔進(jìn)料口連通，所述精餾塔下部設(shè)有再沸器二且頂部設(shè)有精餾冷凝器，所述精餾塔底部連接高純氨儲(chǔ)罐；

所述導(dǎo)熱油油箱內(nèi)設(shè)置有電加熱器，所述導(dǎo)熱油油箱連接有上油總管道和回油總管道，所述再沸器一、再沸器二的入口端均與上油總管道相連，所述再沸器一、再沸器二的出口端均與回油總管道相連。

作為優(yōu)選，所述再沸器一的入口端通過上油分管道一與上油總管道連通，所述再沸器一的出口端通過回油分管道一與回油總管道連通；所述再沸器二的入口端通過上油分管道二與上油總管道連通，所述再沸器二的出口端通過回油分管道二與回油總管道連通。

作為優(yōu)選，所述上油總管道上設(shè)置有油泵和上油控制閥。

作為優(yōu)選，所述導(dǎo)熱油油箱上設(shè)置有溫度監(jiān)測(cè)裝置。

作為優(yōu)選，所述上油總管道上設(shè)置有壓力監(jiān)測(cè)裝置。

作為優(yōu)選，所述粗液氨罐的下部通過去增壓管道與增壓器入口連接，所述增壓器出口通過增壓氨氣管道與粗液氨罐頂部連接，所述增壓器還與導(dǎo)熱油油箱連接。

作為優(yōu)選，所述初餾冷凝器還連通有液氨管道一和氨氣管道一，所述液氨管道一與液氨儲(chǔ)罐連通，所述氨氣管道一與氨水制備器連通；所述精餾冷凝器還連通有液氨管道二和氨氣管道二，所述液氨管道二與液氨儲(chǔ)罐連通，所述氨氣管道二與氨水制備器連通。

本實(shí)用新型的有益效果如下：