[實(shí)用新型]一種固態(tài)沉積裝置及固態(tài)沉積系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220735778.7
• 申請(qǐng)日: 2022-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN216972685U
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝迎春;王高民;張科杰;黃仁忠;鄧春明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東省科學(xué)院新材料研究所
• 主分類號(hào): C23C24/04
• 分類號(hào): C23C24/04;G05D23/20
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 姚大雷

1.一種固態(tài)沉積裝置，其特征在于，包括機(jī)械手、固態(tài)沉積機(jī)構(gòu)和用于對(duì)待噴涂基材進(jìn)行溫度檢測(cè)的溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)和用于對(duì)待噴涂基材進(jìn)行預(yù)熱的電磁感應(yīng)加熱器，所述電磁感應(yīng)加熱器、所述溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)和所述固態(tài)沉積機(jī)構(gòu)的噴嘴均安裝于所述機(jī)械手上，以使三者聯(lián)動(dòng)并具有相同的移動(dòng)軌跡和速度；

其中，所述溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)安裝于所述固態(tài)沉積機(jī)構(gòu)的噴嘴和所述電磁感應(yīng)加熱器之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)沉積裝置，其特征在于，所述電磁感應(yīng)加熱器的加熱頭包括中空金屬管圈，所述中空金屬管圈是由圓柱形金屬材料自上而下盤旋形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固態(tài)沉積裝置，其特征在于，所述中空金屬管圈的直徑為10-20mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固態(tài)沉積裝置，其特征在于，形成所述中空金屬管圈的圓柱形金屬材料的材質(zhì)為銅。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固態(tài)沉積裝置，其特征在于，所述中空金屬管圈的中心設(shè)置有永磁磁芯。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)沉積裝置，其特征在于，所述電磁感應(yīng)加熱器和所述固態(tài)沉積機(jī)構(gòu)的噴嘴之間的間距為10-25mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的固態(tài)沉積裝置，其特征在于，所述固態(tài)沉積機(jī)構(gòu)的噴嘴為拉法爾噴嘴。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)沉積裝置，其特征在于，還包括控制系統(tǒng)，所述機(jī)械手和所述溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)均與所述控制系統(tǒng)電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)沉積裝置，其特征在于，還包括用于安裝機(jī)械手的基座。

10.一種固態(tài)沉積系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的固態(tài)沉積裝置。