[實用新型]一種用于閥門的密封環和密封結構

有效

• 申請號: 202220692951.X
• 申請日: 2022-03-28
• 公開（公告）號: CN217029925U
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 耿德占;張雷
• 申請（專利權）人: 中科艾爾（北京）科技有限公司
• 主分類號: F16J15/06
• 分類號: F16J15/06
• 代理公司: 北京知迪知識產權代理有限公司 11628
• 代理人: 張子寬

本實用新型公開一種用于閥門的密封環和密封結構，涉及半導體閥門密封技術領域，以解決現有密封環密封效果較差的問題。所述用于閥門的密封環包括沿軸向方向依次分布的上環部、中環部和下環部，上環部和/或下環部上同軸設置有環形凸起，環形凸起用于與基塊金屬密封，中環部的外側同軸設置有彈性多邊環形結構，彈性多邊環形結構的外邊緣的橫截面為多邊形，密封環與基塊配合時，彈性多邊環形結構的外邊緣沿密封環的徑向方向擠壓基塊，以通過發生彈性形變與基塊密封。所述用于閥門的密封結構包括上述技術方案所提的用于閥門的密封環。本實用新型提供的用于閥門的密封環用于閥門密封。

技術領域

本實用新型涉及半導體閥門密封技術領域，尤其涉及一種用于閥門的密封環和密封結構。

背景技術

在半導體行業中，通常對閥門有著較高的低泄漏率要求，目前常見閥門的密封方式為密封環密封，通過將密封環置于待密封的兩個元件之間，利用密封環與元件之間金屬密封的方式實現密封。金屬密封是一種采用適當的金屬材料代替彈性材料形成密封的一種中高膨脹率壓力安全機構，是采用可控的載荷來擠壓其中一個金屬元件，并使之充分變形與另一個金屬元件接觸，利用兩個元件接觸面的壓力使金屬發生塑形變形與流動來填充兩個元件接觸面之間的空隙，從而獲得密封能力。

但是，對于大流量要求的閥門，現有的密封環結構的密封效果較差。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于閥門的密封環和密封結構，用于提高密封環的密封效果。

為了實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種用于閥門的密封環，包括沿軸向方向依次分布的上環部、中環部和下環部，上環部和/或下環部上同軸設置有環形凸起，環形凸起用于與基塊金屬密封，中環部的外側同軸設置有彈性多邊環形結構，彈性多邊環形結構的外邊緣的橫截面為多邊形，密封環與基塊配合時，彈性多邊環形結構的外邊緣沿密封環的徑向方向擠壓基塊，以通過發生彈性形變與基塊密封。

與現有技術相比，本實用新型提供的用于閥門的密封環，通過上環部和/或下環部的環形凸起與基塊金屬密封實現一次密封，通過彈性多邊環形結構形變擠壓基塊實現二次密封，從而提高密封環的密封效果；當用于大流量閥門時，由于密封環需要適配于大尺寸的裝配孔，密封環的尺寸較大，此時，通過環形凸起與基塊金屬密封、彈性多邊環形結構與基塊彈性形變密封可以提高密封環的密封效果，使得密封環用于大流量閥門時仍具有較好的密封能力，可以適用于大流量閥門；同時，由于彈性多邊環形結構的外邊緣的橫截面為多邊形，當彈性多邊環形結構的外邊緣沿密封環的徑向方向擠壓基塊發生形變時，外邊緣的多邊形部分中，角的位置可以先發生形變，角形變后，相鄰兩個角會形變擠壓中間的邊，使得多邊形部分的邊向外擴張形成弧形結構而接觸基塊中與密封環配合的裝配孔的內壁，通過邊與裝配孔接觸而提高彈性多邊環形結構與基塊的密封效果，相對于現有技術中采用的圓環結構，本申請采用多邊環形結構時，多邊環形結構的多邊形部分中，邊的部分初始時與裝配孔內壁存在預留間隙，使得邊的部分留有一定的形變空間，進而使彈性多邊環形結構擠壓基塊形變時，可以形變填充在預留間隙內而使彈性多邊環形結構與基塊能夠充分接觸，進一步提高密封效果，避免現有技術中采用圓環結構擠壓基塊形變時，由于自身形變擠壓導致圓環與基塊之間出現縫隙而影響密封效果。

此外，由于彈性多邊環形結構中角的位置與基塊接觸時，接觸面積較小且增加了彈性多邊環形結構與基塊之間的摩擦力，使得彈性多邊環形結構與基塊配合時不易偏移，提高密封環的抗震動能力；由于大流量閥門中，密封環由于尺寸較大導致自身震動效果較強，而本申請的密封環具有較強的抗震動能力，故而能夠適用于大流量閥門。

可選的，在上述用于閥門的密封環中，彈性多邊環形結構的外邊緣的橫截面為正多邊形。如此設置，多邊環形結構形變時更加均勻，從而進一步提高密封環的密封效果。