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[實(shí)用新型]一種用于插片機(jī)的硅片吸附機(jī)構(gòu)有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 202220511459.8 申請(qǐng)日: 2022-03-10
公開(公告)號(hào): CN216793646U 公開(公告)日: 2022-06-21
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 馮震坤;周裕吉 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 無錫京運(yùn)通科技有限公司
主分類號(hào): H01L21/677 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 無錫睿升知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32376 代理人: 姬穎敏
地址: 214183 江蘇省*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 用于 插片機(jī) 硅片 吸附 機(jī)構(gòu)
【權(quán)利要求書】:

1.一種用于插片機(jī)的硅片吸附機(jī)構(gòu),包括筒體(1)和連接板(13),其特征在于,所述筒體(1)的底端一體成型有底罩(2),筒體(1)的圓周內(nèi)側(cè)一體成型有兩個(gè)連接桿(3),連接桿(3)之間一體成型有支撐柱(4),且底罩(2)的頂部?jī)?nèi)壁固定連接有弧面硅膠罩(5),所述筒體(1)的圓周內(nèi)壁卡接有安裝板(6),安裝板(6)的上表面固定連接有第一電機(jī),第一電機(jī)輸出軸的一端固定連接有第一螺紋桿(8),第一螺紋桿(8)的一側(cè)活動(dòng)連接有滑動(dòng)板(9),所述安裝板(6)的底部固定連接有兩個(gè)導(dǎo)向桿(7),導(dǎo)向桿(7)與滑動(dòng)板(9)活動(dòng)連接,所述滑動(dòng)板(9)的底部固定連接有兩個(gè)固定桿(10),固定桿(10)的底端一體成型有滑動(dòng)塊(11),滑動(dòng)塊(11)的底部一體成型有橡膠塊(12)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于插片機(jī)的硅片吸附機(jī)構(gòu),其特征在于,所述連接板(13)的底部固定連接有多個(gè)豎板(14),其中兩個(gè)豎板(14)之間固定連接有兩個(gè)支撐桿(15),兩個(gè)豎板(14)之間活動(dòng)連接有第二螺紋桿(16)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于插片機(jī)的硅片吸附機(jī)構(gòu),其特征在于,其中一個(gè)所述豎板(14)的一側(cè)固定連接有第一電機(jī),第一電機(jī)輸出軸的一端與第二螺紋桿(16)固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于插片機(jī)的硅片吸附機(jī)構(gòu),其特征在于,所述第二螺紋桿(16)的一側(cè)活動(dòng)連接有調(diào)節(jié)板(17),調(diào)節(jié)板(17)與支撐桿(15)活動(dòng)連接,且調(diào)節(jié)板(17)的上表面固定連接有電動(dòng)推桿(18)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于插片機(jī)的硅片吸附機(jī)構(gòu),其特征在于,所述筒體(1)的頂端活動(dòng)連接有頂板(20),電動(dòng)推桿(18)的一端與頂板(20)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于插片機(jī)的硅片吸附機(jī)構(gòu),其特征在于,所述頂板(20)的上表面固定連接有兩個(gè)活動(dòng)桿(19),活動(dòng)桿(19)穿過調(diào)節(jié)板(17)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于插片機(jī)的硅片吸附機(jī)構(gòu),其特征在于,所述導(dǎo)向桿(7)的底端固定連接有限位塊(21)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于插片機(jī)的硅片吸附機(jī)構(gòu),其特征在于,所述支撐柱(4)的底端固定連接有硅膠墊(23),弧面硅膠罩(5)的底端固定連接有硅膠環(huán)(22)。

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