[實用新型]一種自帶清洗功能的半導體用剝離液制備裝置

有效

• 申請號: 202220496785.6
• 申請日: 2022-03-07
• 公開（公告）號: CN217093134U
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 童晨;吳海燕;韓成強;孫元;陳桂紅
• 申請（專利權）人: 昆山晶科微電子材料有限公司
• 主分類號: B01F27/906
• 分類號: B01F27/906;B01F35/11
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種自帶清洗功能的半導體用剝離液制備裝置，其特征在于，包括臺架、制備罐、供水機構、攪拌機構和電控箱，所述制備罐設置在臺架的臺面中部，所述電控箱安裝在制備罐的外表面，所述制備罐的上側邊和下側邊分別設置有投料口及排料口，所述制備罐的頂部內壁設置有供水箱，且所述制備罐的頂部與供水箱之間連通設置有供水口；

所述攪拌機構包括攪拌電機和攪拌槳，所述攪拌槳包括一豎向中空軸和連通設置在豎向中空軸外側的若干根橫向中空軸，且所述豎向中空軸和若干根橫向中空軸表面均設置有多個噴水口，所述攪拌電機設置在臺架的底部，且所述攪拌電機的輸出軸依次穿過臺架的臺面以及制備罐與豎向中空軸一端連接，所述供水箱的底部設置有軸承座，且所述豎向中空軸的另一端穿過軸承座并伸進供水箱內部設置；

所述供水機構包括儲水箱和抽水泵，所述儲水箱和抽水泵均設置在臺架的臺面一側，所述抽水泵與電控箱電連接，且所述儲水箱、抽水泵及設置在制備罐上的供水口依次通過管路連接。

2.根據權利要求1所述的一種自帶清洗功能的半導體用剝離液制備裝置，其特征在于，每上下兩根橫向中空管中間均通過加強柱連接。

3.根據權利要求1所述的一種自帶清洗功能的半導體用剝離液制備裝置，其特征在于，所述電控箱的內部設置有控制器，所述電控箱的箱門上設置有與控制器電性連接的觸摸顯示屏。

4.根據權利要求3所述的一種自帶清洗功能的半導體用剝離液制備裝置，其特征在于，所述制備罐的排料口通過負壓管外接有負壓泵，且所述負壓泵與控制器電性連接。

5.根據權利要求3所述的一種自帶清洗功能的半導體用剝離液制備裝置，其特征在于，所述供水箱的底部一側設置有液位傳感器，且所述液位傳感器與控制器電性連接。