[實用新型]一種晶圓平移機構及反應裝置

有效

• 申請號: 202220482263.0
• 申請日: 2022-03-07
• 公開（公告）號: CN216862855U
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 徐鑫;肖蘊章;楊方;陳炳安;鐘國仿
• 申請（專利權）人: 深圳市納設智能裝備有限公司
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74;B65G47/82
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 賈耀斌

1.一種晶圓平移機構，其特征在于，包括：第一連接板、第一連接部、第一滑動組件、第二滑動組件、托盤、無桿氣缸、第一惰輪組件、第二惰輪組件和過渡室，所述第一連接板上安裝所述第一滑動組件，所述第一滑動組件端部穿設在所述過渡室內，所述第一連接板上安裝所述第二滑動組件，所述第二滑動組件上安裝所述第一連接部，所述第一連接部上設置所述托盤，所述無桿氣缸安裝在所述過渡室內，所述無桿氣缸的移動體與所述第一連接板相連，所述第一惰輪組件和所述第二惰輪組件均安裝在所述第一連接板上，所述第一惰輪組件和所述第二惰輪組件均與所述第一連接部和所述過渡室相連，所述第一惰輪組件用于在所述無桿氣缸驅動所述第一連接板移動靠近所述過渡室時，帶動所述第一連接部和所述托盤向靠近所述過渡室的一側移動；所述第二惰輪組件用于在所述無桿氣缸驅動所述第一連接板移動遠離所述過渡室時，帶動所述第一連接部和所述托盤向遠離所述過渡室的一側移動。

2.根據權利要求1所述的晶圓平移機構，其特征在于，所述第一惰輪組件包括第一惰輪、第一皮帶、第一固定塊和第二固定塊，所述第一固定塊設于所述過渡室內，所述第一惰輪設于所述第一連接板上且位于所述第一固定塊遠離所述過渡室開口的一側，所述第二固定塊設于所述第一連接部上遠離所述過渡室的一側，所述第一惰輪上繞設所述第一皮帶，所述第一皮帶的兩端分別固定在所述第一固定塊和所述第二固定塊上。

3.根據權利要求1所述的晶圓平移機構，其特征在于，所述第二惰輪組件包括第二惰輪、第二皮帶、第三固定塊和第四固定塊，所述第三固定塊設于所述過渡室內，所述第四固定塊設于所述第一連接部上，所述第二惰輪設于所述第一連接板上且位于所述第四固定塊遠離所述過渡室開口的一側，所述第二惰輪上繞設所述第二皮帶，所述第二皮帶的兩端分別固定在所述第三固定塊和所述第四固定塊上。

4.根據權利要求1所述的晶圓平移機構，其特征在于，所述第一滑動組件包括第一導軌和第一滑塊，所述過渡室內固定安裝固定座，所述固定座上安裝所述第一導軌，所述第一導軌上滑動連接所述第一滑塊，所述第一滑塊與所述第一連接板固定連接。

5.根據權利要求4所述的晶圓平移機構，其特征在于，所述第一滑塊為長條形滑塊，且所述第一滑塊的長度與所述第一連接板的長度相近。

6.根據權利要求1所述的晶圓平移機構，其特征在于，所述第二滑動組件包括第二導軌和第二滑塊，所述第一連接板頂面固定安裝所述第二導軌，所述第二導軌上滑動連接所述第二滑塊，所述第二滑塊與所述第一連接部固定連接。

7.根據權利要求6所述的晶圓平移機構，其特征在于，所述第二滑塊為長條形滑塊，且所述第二滑塊的長度與所述第一連接部的長度相近。

8.根據權利要求1所述的晶圓平移機構，其特征在于，所述第一滑動組件、所述第二滑動組件、所述第一惰輪組件和所述第二惰輪組件的長度方向互相平行。

9.根據權利要求1所述的晶圓平移機構，其特征在于，所述托盤底面中心處固定安裝限位銷，所述第一連接部頂面開設限位槽，所述限位銷能在所述限位槽內滑動用于調節所述托盤在所述第一連接部上的位置。

10.一種反應裝置，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述的晶圓平移機構。