[實用新型]一種紫外線照射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220250842.2
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN216849866U
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張志劼;龔薈卓
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 鐘玉敏

本實用新型提供了一種紫外線照射裝置，用于對晶圓的表面進行照射，包括：燈箱，所述燈箱具有一內(nèi)腔，且所述燈箱的一面具有貫通所述內(nèi)腔的通孔；環(huán)形燈組，位于所述內(nèi)腔中，包括至少一個面向所述通孔的紫外燈管，所有所述紫外燈管至少構(gòu)成一個環(huán)形。由于所述環(huán)形燈組各處發(fā)出的紫外線的強度均勻，使用所述環(huán)形燈組對晶圓上的氮化硅膜層進行照射，使所述氮化硅膜層應(yīng)力具有良好的均勻性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種紫外線照射裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體集成電路制造工藝中常用紫外線對膜層進行處理，例如，采用紫外線照射化學(xué)氣相沉積形成的氮化硅膜層以進行應(yīng)力調(diào)整、低介電常數(shù)材料的性能改善以及干法刻蝕后膜層的損傷修復(fù)等。例如：高應(yīng)力氮化硅沉積設(shè)備在晶圓上生成氮化硅膜層后，會通過紫外線照射裝置對氮化硅薄膜進行紫外線照射，以改善氮化硅薄膜的應(yīng)力，形成高應(yīng)力氮化硅薄層。但現(xiàn)有的紫外線照射裝置存在紫外線強度不均勻的問題，會影響氮化硅膜層應(yīng)力的均勻性，進而影響半導(dǎo)體器件的良率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種紫外線照射裝置，提高氮化硅膜層應(yīng)力的均勻性。

為了達到上述目的，本實用新型提供了一種紫外線照射裝置，用于對晶圓的表面進行照射，包括：

燈箱，所述燈箱具有一內(nèi)腔，且所述燈箱的一面具有貫通所述內(nèi)腔的通孔；環(huán)形燈組，位于所述內(nèi)腔中，包括至少一個面向所述通孔的紫外燈管，所有所述紫外燈管至少構(gòu)成一個環(huán)形。

可選的，所述紫外線照射裝置還包括：

燈罩，所述燈罩可拆卸安裝在所述通孔內(nèi)。

可選的，所述環(huán)形燈組包括至少一個環(huán)形的所述紫外燈管，當(dāng)所述紫外燈管具有至少兩個時，所有所述紫外燈管構(gòu)成同心圓環(huán)。

可選的，所述紫外線照射裝置還包括：

燈架，用于支撐所述紫外燈管。

可選的，所述環(huán)形燈組包括至少兩個圓弧形的所述紫外燈管，所有所述紫外燈管沿周向均勻分布。

可選的，所述紫外線照射裝置還包括：

燈架，用于支撐所述紫外燈管并驅(qū)動所有所述紫外燈管同步旋轉(zhuǎn)。

可選的，所述紫外燈管的旋轉(zhuǎn)中心與所述通孔的中心等高。

可選的，每個所述紫外燈管的功率均相同。

可選的，所述紫外線照射裝置還包括：

晶圓支撐架，位于所述燈箱外，且設(shè)置于所述燈箱具有所述通孔一面的外壁上，且所述晶圓支撐架的上表面低于所述通孔的下邊緣。

可選的，所述晶圓具有相對的正面和背面，所述晶圓的正面形成有氮化硅薄膜，所述晶圓的背面放置在所述晶圓支撐架上。

本實用新型提供了一種紫外線照射裝置，用于對晶圓的表面進行照射，所述紫外線照射裝置包括：燈箱，所述燈箱具有一內(nèi)腔，且所述燈箱的一面具有貫通所述內(nèi)腔的通孔；環(huán)形燈組，位于所述內(nèi)腔中，包括至少一個面向所述通孔的紫外燈管，所有所述紫外燈管至少構(gòu)成一個環(huán)形。由于所述環(huán)形燈組各處發(fā)出的紫外線的強度均勻，使用所述環(huán)形燈組對晶圓上的氮化硅膜層進行照射，使所述氮化硅膜層應(yīng)力具有良好的均勻性。

附圖說明

圖1為一種紫外線照射裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示紫外線照射裝置照射后的晶圓上氮化硅膜層的應(yīng)力分布圖像；

圖3為本實用新型實施例一提供的一種紫外線照射裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型實施例一提供的一種紫外線照射裝置的側(cè)視圖；