[實用新型]一種磁吸式單晶硅棒自適應下夾持機構

有效

• 申請號: 202220234005.0
• 申請日: 2022-01-28
• 公開（公告）號: CN217047032U
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 李海威;梁興華;李元業;鄭光健;廖書陽;沈錦鋒;梁潔;李波;賴曉錕
• 申請（專利權）人: 福州天瑞線鋸科技有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 福州旭辰知識產權代理事務所(普通合伙) 35233
• 代理人: 程春寶

本實用新型涉及一種磁吸式單晶硅棒自適應下夾持機構，包括球頭及扣于球頭上用于承載單晶硅棒的外罩體，所述球頭與外罩體之間具有擺動間隙，外罩體內部鉸接鏈接有能吸附球頭與外罩體實現外罩體定位的電磁鐵。本實用新型可以找到硅晶棒實際軸向重心，調整位置依靠鎖緊裝置，實現硅晶棒穩定豎立。

技術領域

本實用新型涉及晶硅加工設備技術領域，尤其指一種磁吸式單晶硅棒自適應下夾持機構。

背景技術

現有開方機一般為立式結構，硅晶棒密度不均勻，理論軸向重心與實際軸向重心不一致，這樣會造成硅晶棒放置到下夾持機構時傾斜或無法保持豎立狀態，導致無法進行正常加工。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種磁吸式單晶硅棒自適應下夾持機構?？梢哉业焦杈О魧嶋H軸向重心，調整位置依靠鎖緊裝置調整位置，實現硅晶棒穩定豎立。

本實用新型的技術方案如下：一種磁吸式單晶硅棒自適應下夾持機構，包括球頭及扣于球頭上用于承載單晶硅棒的外罩體，所述球頭與外罩體之間具有擺動間隙，外罩體內部鉸接鏈接有能吸附球頭與外罩體實現外罩體定位的電磁鐵。

進一步改進，所述外罩體包括上壓緊塊和下殼體；所述上壓緊塊與下殼體固定連接，所述電磁鐵頂部具有球狀凸起，所述球狀凸起嵌于上壓緊塊內實現電磁鐵與外罩體的鉸接鏈接。

進一步改進，所述上壓緊塊內腔下部與下殼體內腔上部結合處具有球狀內腔面，弧形球面與球頭之間形成擺動間隙。

進一步改進，所述上壓緊塊包括載物板及固定于載物板下方的安裝筒，所述球狀凸起頂部嵌入載物板內，所述載物板下方固定有安裝板，所述安裝板具有供球狀凸起穿過的開孔。

進一步改進，所述球頭頂部及電磁鐵底部為平面，所述電磁鐵底部與球頭頂部貼合。

進一步改進，所述球頭固定于一支撐體上，所述支撐體由驅動裝置驅動轉動。

進一步改進，所述上壓緊塊的端面為平面且間隔設置有沉槽，所述沉槽內設置有安裝孔。

進一步改進，所述球頭底部設置有螺栓孔，所述螺栓孔與回轉底座固定連接。

進一步改進，所述外罩體和球頭材料為鐵磁體。

與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：

本實用新型提供了一種磁吸式單晶硅棒自適應下夾持機構，該裝置通過球頭與外罩體之間的擺動間隙實現對外罩體位置的調整，依靠電磁鐵吸附球頭與外罩體實現鎖緊，進而調整單晶硅棒的位置，可以找到硅晶棒實際軸向重心，實現硅晶棒穩定豎立。

附圖說明

圖1為本實用新型的立體結構剖面示意圖(電磁鐵未工作狀態)；

圖2為本實用新型的剖視圖(電磁鐵未工作狀態)；

圖3為本實用新型的剖視圖(電磁鐵工作狀態)；

圖4為本實用新型的立體圖；

圖5為本實用新型整體結構的俯視圖；

圖中附圖標記表示為：

10、外罩體；110、上壓緊塊；120、下殼體；20、球頭；30、電磁鐵；310、球狀凸起；111-載物板；112-安裝筒，113-安裝板，114-安裝孔，210-螺栓孔， 40-擺動間隙。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例來對本實用新型進行詳細的說明。