[實用新型]多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置

有效

• 申請號: 202220228048.8
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN217163591U
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 陳文;苗康
• 申請（專利權）人: 內蒙古東立光伏電子有限公司
• 主分類號: B01D46/10
• 分類號: B01D46/10;B01D46/681;B01D46/42;C01B33/107
• 代理公司: 北京深川專利代理事務所(普通合伙) 16058
• 代理人: 鐘家俊

本實用新型公開了多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置，包括處理箱，所述處理箱的一側固定連接有進氣管，所述進氣管的內部固定安裝有一號電磁閥，所述處理箱的頂部固定連接有出氣管，所述出氣管的內部固定安裝有二號電磁閥，本實用新型的優點：將進氣管接通尾氣管，再打開一號電磁閥使尾氣進入到處理箱的內部，然后尾氣向上飄動經過濾網過濾掉尾氣中的雜質，同時打開二號電磁閥，風機的輸入端將過濾后的尾氣抽出，有利于對尾氣中的雜質快速過濾，從而提高氯硅烷的回收效率；電機的輸出端可帶動往復絲桿轉動，然后滑塊沿著一號滑桿運動，從而毛刷對濾網上吸附的雜質往復清潔，提高濾網的清潔效率。

技術領域：

本實用新型涉及多晶硅技術領域，具體為多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置。

背景技術：

多晶硅，是單質硅的一種形態。熔融的單質硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶硅，多晶硅在生產過程中，產生的尾氣中會含有氯硅烷，通過回收裝置對氯硅烷需要先對尾氣中的雜質過濾，現有的回收裝置缺乏對尾氣中的雜質過濾的功能，從而影響對氯硅烷的回收效率。

實用新型內容：

本實用新型的目的在于提供多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置，以解決上述背景技術中提出回收裝置缺乏對尾氣中的雜質過濾的功能，從而影響對氯硅烷的回收效率的問題。

本實用新型由如下技術方案實施：多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置，包括處理箱，所述處理箱的一側固定連接有進氣管，所述進氣管的內部固定安裝有一號電磁閥，所述處理箱的頂部固定連接有出氣管，所述出氣管的內部固定安裝有二號電磁閥，所述處理箱的頂部且位于出氣管的一側固定連接有支撐板，所述支撐板的一側固定安裝有風機，所述風機的輸入端與出氣管的一端固定連接，所述處理箱的內部固定安裝有濾網。

作為本實用新型的一種優選的技術方案，所述處理箱的內部且位于濾網的下方轉動連接有往復絲桿，所述往復絲桿的一端延伸至處理箱的外側固定安裝有電機，所述處理箱的內部且位于往復絲桿的下方固定連接有一號滑桿，所述往復絲桿的外側螺紋連接有滑塊，所述滑塊的頂部固定連接有毛刷，所述滑塊與一號滑桿滑動連接。

作為本實用新型的一種優選的技術方案，所述處理箱的底部固定連接有排雜管，所述處理箱的底部且位于排雜管的一側固定連接有二號滑桿，所述二號滑桿的外側滑動連接有擋板，所述擋板的內部螺紋連接有螺紋桿，所述螺紋桿的一端與處理箱轉動連接。

作為本實用新型的一種優選的技術方案，所述處理箱的正面固定連接有可視窗。

作為本實用新型的一種優選的技術方案，所述處理箱的正面且位于可視窗的一側固定安裝有控制面板，所述電機、二號電磁閥、風機和一號電磁閥均與控制面板電性連接

本實用新型的優點：

1、本實用新型中，將進氣管接通尾氣管，再打開一號電磁閥使尾氣進入到處理箱的內部，然后尾氣向上飄動經過濾網過濾掉尾氣中的雜質，同時打開二號電磁閥，風機的輸入端將過濾后的尾氣抽出，有利于對尾氣中的雜質快速過濾，從而提高氯硅烷的回收效率。

2、本實用新型中，電機的輸出端可帶動往復絲桿轉動，然后滑塊沿著一號滑桿運動，從而毛刷對濾網上吸附的雜質往復清潔，提高濾網的清潔效率。

附圖說明：

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的正視圖；

圖2為本實用新型的剖面結構示意圖；

圖3為本實用新型的圖2中A處放大結構示意圖。