[實(shí)用新型]多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220228048.8
• 申請(qǐng)日: 2022-01-27
• 公開（公告）號(hào): CN217163591U
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳文;苗康
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古東立光伏電子有限公司
• 主分類號(hào): B01D46/10
• 分類號(hào): B01D46/10;B01D46/681;B01D46/42;C01B33/107
• 代理公司: 北京深川專利代理事務(wù)所(普通合伙) 16058
• 代理人: 鐘家俊

1.多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置，包括處理箱(1)，其特征在于，所述處理箱(1)的一側(cè)固定連接有進(jìn)氣管(2)，所述進(jìn)氣管(2)的內(nèi)部固定安裝有一號(hào)電磁閥(3)，所述處理箱(1)的頂部固定連接有出氣管(4)，所述出氣管(4)的內(nèi)部固定安裝有二號(hào)電磁閥(5)，所述處理箱(1)的頂部且位于出氣管(4)的一側(cè)固定連接有支撐板(7)，所述支撐板(7)的一側(cè)固定安裝有風(fēng)機(jī)(6)，所述風(fēng)機(jī)(6)的輸入端與出氣管(4)的一端固定連接，所述處理箱(1)的內(nèi)部固定安裝有濾網(wǎng)(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置，其特征在于：所述處理箱(1)的內(nèi)部且位于濾網(wǎng)(9)的下方轉(zhuǎn)動(dòng)連接有往復(fù)絲桿(11)，所述往復(fù)絲桿(11)的一端延伸至處理箱(1)的外側(cè)固定安裝有電機(jī)(8)，所述處理箱(1)的內(nèi)部且位于往復(fù)絲桿(11)的下方固定連接有一號(hào)滑桿(12)，所述往復(fù)絲桿(11)的外側(cè)螺紋連接有滑塊(13)，所述滑塊(13)的頂部固定連接有毛刷(14)，所述滑塊(13)與一號(hào)滑桿(12)滑動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置，其特征在于：所述處理箱(1)的底部固定連接有排雜管(10)，所述處理箱(1)的底部且位于排雜管(10)的一側(cè)固定連接有二號(hào)滑桿(15)，所述二號(hào)滑桿(15)的外側(cè)滑動(dòng)連接有擋板(17)，所述擋板(17)的內(nèi)部螺紋連接有螺紋桿(16)，所述螺紋桿(16)的一端與處理箱(1)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置，其特征在于：所述處理箱(1)的正面固定連接有可視窗(19)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅還原尾氣中氯硅烷的回收裝置，其特征在于：所述處理箱(1)的正面且位于可視窗(19)的一側(cè)固定安裝有控制面板(18)，所述電機(jī)(8)、二號(hào)電磁閥(5)、風(fēng)機(jī)(6)和一號(hào)電磁閥(3)均與控制面板(18)電性連接。