[實用新型]一種半導體生產設備用輕質防微振基座

有效

• 申請號: 202220034322.8
• 申請日: 2022-01-08
• 公開（公告）號: CN217208441U
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 趙小江;高景作;李斌
• 申請（專利權）人: 大連地拓電子工程技術有限公司
• 主分類號: F16M7/00
• 分類號: F16M7/00;F16M5/00;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供了一種半導體生產設備用輕質防微振基座，包括頂、鋼構框體和支撐腿，所述頂板焊接在鋼構框體上部，所述頂板板上部固設有防漏面板，所述鋼構框體下部焊接有支撐腿，所述支撐腿底部焊接有底座。本實用新型基座結構簡單、制作和安裝方便，適用性強，可以有效避免泄漏液體腐蝕損壞，通過方形鋼管支撐腿和槽鋼鋼構框體的設計，將基座配重降低了20%，但基座防微振等級仍可達VC?D級，防微振效果較好。

技術領域

本實用新型涉及隔振裝置技術領域，具體是一種半導體生產設備用輕質防微振基座。

背景技術

目前半導體行業飛速發展，半導體生產設備這種精密儀器對精度要求越來越高，設備對微振動等環境的要求也越來越敏感，少許的微振動就會降低設備的產出良率，甚至使設備不能正常工作，因此對微振動的隔離變得越來越重要。

現有的鋼結構基座一般由四個主要部件組成：鋼面板，上框，立柱和下框，采用的材料一般為型鋼，方管，槽鋼和鋼板等。現有的這種鋼結構基座對于常規的安裝環境是可行的，但是當安裝環境過于復雜或者鋼結構基座過大時就會出現下面的一些問題：1）在半導體廠生產車間中，在設備下方會有很多用用于輸送液體或氣體的管路，而當安裝環境中有很多管路時，現有基座將無法避讓，導致鋼結構基座滿足不了現場的環境要求；2）針對半導體廠中的WET酸槽設備，腐蝕性液體的泄漏情況時有發生，現有鋼結構基座將會大面積受到被泄漏腐蝕性液體的腐蝕損壞，長時間會直接導致鋼結構基座的損壞；3）現有鋼構基座多是因為多為槽鋼制作，且需要上下框體，基座自重過大，運輸和移動困難。因此，本領域需要開發一種結構簡單、安裝便利、對多管路安裝環境適用性強，可有效避免泄漏液體腐蝕損壞，及制作工藝簡單，運輸方便，制作成本低的用于精密儀器的鋼結構基座。

實用新型內容

實用新型的目的在于提供一種半導體生產設備用輕質防微振基座，以解決上述背景技術中存在的問題。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種半導體生產設備用輕質防微振基座，包括頂板、鋼構框體和支撐腿，所述頂板焊接在鋼構框體上部，所述頂板上部固設有防漏面板，所述鋼構框體下部焊接有支撐腿，所述支撐腿底部焊接有底座。

進一步地，所述頂板為不銹鋼板。

進一步地，所述防漏面板采用聚丙烯板制作而成，所述防漏面板與頂板通過膠水粘結固定。

進一步地，所述頂板和防漏面板在相同位置均開設有相同尺寸的鏤空部。

進一步地，所述頂板和防漏面板在相同位置均開設有相同尺寸的集液口。

進一步地，所述頂板和防漏面板在相同位置均開設有相同尺寸的機臺安裝孔，用于基座與機臺安裝固定。

進一步地，所述鋼構框體由槽鋼焊接制成。

進一步地，所述支撐腿為方形鋼管。

進一步地，所述底座上開設有基座安裝孔，用于基座與地板安裝固定。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型基座結構簡單、制作和安裝方便，適用性強，可以有效避免泄漏液體腐蝕損壞，通過方形鋼管支撐腿和槽鋼鋼構框體的設計，將基座配重降低了20%，但基座防微振等級仍可達VC-D級，防微振效果較好。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中1-頂板，2-鋼構框體，3-支撐腿，4-防漏面板，5-底座，6-鏤空部，7-集液口，8-機臺安裝孔，9-基座安裝孔。

具體實施方式