[發(fā)明專利]裝卸裝置、方法及硅片雙面拋光設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211690624.1
• 申請日: 2022-12-27
• 公開（公告）號: CN115870868A
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫介楠;王強
• 申請（專利權(quán)）人: 西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/06;B24B41/04;B24B41/00;B24B53/12
• 代理公司: 西安維英格知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61253
• 代理人: 宋東陽;王渝

1.一種用于硅片雙面拋光設(shè)備的裝卸裝置，其特征在于，所述裝卸裝置包括：

第一裝卸機構(gòu)，所述第一裝卸機構(gòu)用于將載具裝載至所述硅片雙面拋光設(shè)備以及將載具從所述硅片雙面拋光設(shè)備卸載；

第二裝卸機構(gòu)，所述第二裝卸機構(gòu)用于將硅片裝載至裝載于所述硅片雙面拋光設(shè)備的載具以及將硅片從裝載于所述硅片雙面拋光設(shè)備的載具卸載；

第三裝卸機構(gòu)，所述第三裝卸機構(gòu)用于將對所述硅片雙面拋光設(shè)備的上拋光墊和下拋光墊進行修整的修整器裝載至所述硅片雙面拋光設(shè)備以及將修整器從所述硅片雙面拋光設(shè)備卸載。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卸裝置，其特征在于，所述第一裝卸機構(gòu)包括：

載具裝卸機械臂；

設(shè)置在所述載具裝卸機械臂的末端的吸附組件，所述吸附組件用于真空吸附所述載具。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝卸裝置，其特征在于，所述吸附組件包括三個吸盤，并且當所述吸附組件吸附有所述載具時，所述三個吸盤在所述載具的周向上均勻分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝卸裝置，其特征在于，所述第一裝卸機構(gòu)還包括設(shè)置在所述載具裝卸機械臂的末端的定位相機，所述定位相機用于確定被所述吸附組件吸附的載具相對于所述硅片雙面拋光設(shè)備的位置以將載具裝載在所述硅片雙面拋光設(shè)備中的適合的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卸裝置，其特征在于，所述第二裝卸機構(gòu)包括用于將硅片裝載至所述載具的上料機械手臂以及用于將硅片從所述載具卸載的下料機械手臂。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卸裝置，其特征在于，所述第三裝卸機構(gòu)包括：

修整器裝卸機械臂；

設(shè)置在所述修整器裝卸機械臂的末端的卡扣組件，所述卡扣組件用于機械卡扣所述修整器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝卸裝置，其特征在于，所述卡扣組件包括：

桿體；

設(shè)置在所述桿體上的卡舌，所述卡舌構(gòu)造成能夠在解鎖狀態(tài)和鎖定狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換，在所述解鎖狀態(tài)中，所述卡舌縮回到所述桿體中以使得所述桿體能夠插入到所述修整器的中心孔中，在所述鎖定狀態(tài)中，所述卡舌從所述桿體徑向突出以伸入到所述中心孔的孔壁凹槽中。

8.一種用于硅片雙面拋光設(shè)備的裝卸方法，其特征在于，所述裝卸方法包括：

利用第一裝卸機構(gòu)將載具裝載至所述硅片雙面拋光設(shè)備以及將載具從所述硅片雙面拋光設(shè)備卸載；

利用第二裝卸機構(gòu)將硅片裝載至裝載于所述硅片雙面拋光設(shè)備的載具以及將硅片從裝載于所述硅片雙面拋光設(shè)備的載具卸載；

利用第三裝卸機構(gòu)將對所述硅片雙面拋光設(shè)備的上拋光墊和下拋光墊進行修整的修整器裝載至所述硅片雙面拋光設(shè)備以及將修整器從所述硅片雙面拋光設(shè)備卸載。

9.一種硅片雙面拋光設(shè)備，其特征在于，所述硅片雙面拋光設(shè)備包括根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的裝卸裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅片雙面拋光設(shè)備，其特征在于，所述硅片雙面拋光設(shè)備還包括：

內(nèi)齒圈，所述內(nèi)齒圈具有內(nèi)齒圈外齒；

設(shè)置在所述內(nèi)齒圈外圍的外齒圈，所述外齒圈具有外齒圈內(nèi)齒；

用于承載硅片的載具，所述載具具有載具外齒，所述載具外齒用于與所述內(nèi)齒圈外齒以及所述外齒圈內(nèi)齒嚙合；

用于修整拋光墊的修整器，所述修整器具有修整器外齒，所述修整器外齒用于與所述內(nèi)齒圈外齒以及所述外齒圈內(nèi)齒嚙合。