[發明專利]一種真空腔體隔離裝置

在審

• 申請號: 202211683322.1
• 申請日: 2022-12-27
• 公開（公告）號: CN115985814A
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 楊茂;易卓卓
• 申請（專利權）人: 無錫鑫運達真空技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B01D46/10
• 代理公司: 南京業騰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32321
• 代理人: 楊靜

本發明涉及真空腔體技術領域，公開了一種真空腔體隔離裝置，包括真空腔體、濾板、擋板和真空泵，所述真空腔體的兩端開設有通口，所述真空腔體的頂部外端開設分布有孔槽一和孔槽二，所述濾板滑動連接于孔槽一，所述擋板滑動連接于孔槽二，所述擋板設于濾板的內側端，所述真空泵安裝于真空腔體的頂部中間端，所述真空泵的前端一側連接有抽氣管，所述真空泵的前端另一側連接有排氣管，所述真空腔體的底部和前后端均固定安裝有加熱板，便于自動化控制擋板升降調節密封隔離，使得真空腔體內部中間形成密閉空間，結合真空腔體頂部中間端安裝的真空泵可高效的抽吸形成真空，可先行自動化控制關閉過濾凈化雜質，避免污染真空腔體，提高了加工的質量。

技術領域

本發明涉及真空腔體技術領域，具體為一種真空腔體隔離裝置。

背景技術

真空腔體是保持內部為真空狀態的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統的主要結構材料。具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270—900℃工作等優點，在高真空和超高真空系統中，應用廣泛。真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數而研發的一種結構，其晶圓容量幾乎不變，這種結構采用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。目前，現有的真空腔體不便快速自動化的密封隔離形成密閉空間，真空腔體內部無法結合真空泵抽吸降低氣壓，難以高效加熱物料真空操作，加工時會有雜質穿過真空腔體造成污染，加工的質量低。為此，需要設計相應的技術方案給予解決。

發明內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本發明提供了一種真空腔體隔離裝置，解決了真空腔體不便快速自動化的密封隔離形成密閉空間，真空腔體內部無法結合真空泵抽吸降低氣壓，難以高效加熱物料真空操作，加工時會有雜質穿過真空腔體造成污染，加工質量低的技術問題。

(二)技術方案

為實現以上目的，本發明通過以下技術方案予以實現：一種真空腔體隔離裝置，包括真空腔體、濾板、擋板和真空泵，所述真空腔體的兩端開設有通口，所述真空腔體的頂部外端開設分布有孔槽一和孔槽二，所述濾板滑動連接于孔槽一，所述擋板滑動連接于孔槽二，所述擋板設于濾板的內側端，所述真空泵安裝于真空腔體的頂部中間端，所述真空泵的前端一側連接有抽氣管，所述抽氣管貫穿連接于真空腔體的頂部中間，所述真空泵的前端另一側連接有排氣管，所述真空腔體的底部和前后端均固定安裝有加熱板，所述加熱板的頂部電性連接有加熱控制裝置。

優選的，所述孔槽一的內側端粘接有橡膠墊一，所述濾板的底部粘接有硅膠墊，所述濾板的內部固定設有濾網，所述濾板的頂部焊接有蓋板一，所述蓋板一的長度和寬度大于孔槽一的長度和寬度，使得濾板下降關閉時更加緊固，過濾雜質效果好。

優選的，所述蓋板一的頂部安裝有推桿架，所述推桿架的外端底部連接有電動推桿裝置，所述電動推桿裝置的底部、上端與真空腔體之間焊接分布有墊塊和固定塊，穩定控制升降調節蓋板一。

優選的，所述孔槽二的底部一周粘接有橡膠墊二，所述擋板的底部粘接有硅膠墊，所述擋板的頂部焊接有蓋板二，使得擋板下降關閉時更加密封，避免漏氣。

優選的，所述蓋板二的頂部安裝有絲杠，所述絲杠的頂部焊接有限位板，安全限位，避免滑出，所述絲杠的外端通過螺紋連接有內筒，所述內筒的上端焊接有從動齒盤，所述內筒的外端固定設有軸承，所述軸承的兩側焊接有定位塊，所述定位塊的底部焊接有支撐柱，穩定支撐軸承，所述支撐柱安裝于真空腔體的頂部，自動化控制內筒轉動使得絲杠通過螺紋的作用升降運動。

優選的，所述從動齒盤的內側端嚙合連接有主動齒盤，所述主動齒盤的底部安裝有驅動軸，所述驅動軸的底部連接有驅動電機，所述驅動電機的底部焊接有底板，所述底板的底部焊接分布有支桿，所述支桿的底部焊接有安裝板，所述安裝板通過螺栓連接于真空腔體的頂部，穩定支撐驅動電機整體，自動化控制主動齒盤嚙合從動齒盤轉動，安全可靠。