[發明專利]一種采用多振子耦合的微機械諧振器

在審

• 申請號: 202211640819.5
• 申請日: 2022-12-20
• 公開（公告）號: CN115967367A
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 郭中洋
• 申請（專利權）人: 安徽芯動聯科微系統股份有限公司;北京芯動致遠微電子技術有限公司
• 主分類號: H03H9/205
• 分類號: H03H9/205;H03H9/24;H03H9/05;H03H9/02
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 王琪;陸淑賢

1.一種采用多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：包括至少一組振子、每組振子對應四組驅動/檢測電極、一組耦合梁、一組支撐梁和一個錨點；所述的驅動/檢測電極位于振子上面、振子內部和/或振子外部，振子與耦合梁端部相連，耦合梁的中間區域與支撐梁的一端相連，支撐梁的另一端與錨點相連，振子、耦合梁、支撐梁和錨點共同組成框架結構，框架結構通過錨點固定，所述的振子、驅動/檢測電極、耦合梁、支撐梁和錨點相對于諧振器中心對稱分布。

2.根據權利要求1所述的采用多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：所述的耦合梁為“一”字耦合梁。

3.根據權利要求1或2所述的采用多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：在振子與耦合梁的連接處設置耦合梁細頸，在耦合梁與支撐梁的連接處設置支撐梁細頸，在支撐梁與錨點的連接處設置錨點槽。

4.根據權利要求3所述的采用多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：所述的振子呈圓環狀，每組驅動/檢測電極包括四個位于振子內部的內電極和四個位于振子外部的外電極。

5.根據權利要求3所述的采用多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：所述的振子呈圓環狀，每組驅動/檢測電極包括四個位于振子上面的上電極，上電極的材料是壓電材料，振子采用壓電方式進行驅動或檢測。

6.根據權利要求3所述的采用多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：所述的振子呈圓環狀，每組驅動/檢測電極均包括四個位于振子內部的內電極、四個位于振子外部的外電極以及四個位于振子上面的上電極，上電極采用壓電材料，振子同時采用壓電或電容方式進行驅動或檢測。

7.根據權利要求4或6所述的采用多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：所述的內電極連接一起，成為一體內電極，所述的外電極連接一起，成為一體外電極。

8.根據權利要求3所述的多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：所述的振子呈圓盤或方盤狀，每組驅動/檢測電極包括四個位于振子外部的外電極。

9.根據權利要求3所述的采用多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：所述的振子呈圓盤或方盤狀，每組驅動/檢測電極均包括四個位于振子外部的外電極和四個位于振子上面的上電極，上電極采用壓電材料，振子同時采用壓電或電容方式進行驅動或檢測。

10.根據權利要求1或2所述的采用多振子耦合的微機械諧振器，其特征在于：諧振器的模態節點設置在耦合梁與支撐梁的結合處。